株式会社斯库林集团根本脩平获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117637526B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311020752.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底处理装置是由根本脩平设计研发完成，并于2023-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明的目的在于提供一种能避免因处理液的漏液引起的不良影响而稳定地进行衬底处理的衬底处理装置。在所述发明的衬底处理装置中，腔室以由底壁、从底壁的周围立设的侧壁、及覆盖侧壁的上端部的顶壁覆盖内部空间的方式构成。从所述底壁朝铅直上方立设多个基座支撑部件，且通过所述基座支撑部件的上端部支撑基座部件。这样，在腔室的内部空间内，形成着所谓的高底板构造。而且，在所述基座部件的上表面上设置衬底处理部。通过采用这种高底板构造的布局，假设发生处理液的漏液且积存于腔室的底壁，也能确实地防止所述处理液与衬底处理部接液。
本发明授权衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，具备： 腔室，以由底壁、从所述底壁的周围立设的侧壁、及覆盖所述侧壁的上端部的顶壁覆盖内部空间的方式构成； 衬底处理部，在所述内部空间内，一边使水平姿势的衬底绕沿铅直方向延伸的旋转轴旋转一边对所述衬底供给药液作为处理液，由此对所述衬底实施规定的衬底处理； 多个基座支撑部件，从所述底壁朝铅直上方立设；及 基座部件，具有高于所述底壁的刚性，以将加工成能载置所述衬底处理部的载置面朝向铅直上方的姿势，且在从所述底壁朝上方隔开的隔开位置，由所述多个基座支撑部件的上端部支撑，其中 所述衬底处理部具有： 防飞散机构，捕集从所述衬底飞散的所述处理液的液滴，具有构成为能旋转的旋转杯部，所述旋转杯部具有上杯与下杯；及 升降机构，安装在所述基座部件的上表面，构成为能在铅直方向上升降所述防飞散机构中的所述上杯。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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