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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利一种电子束偏转扫描精度自动标定装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117600636B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311482401.0，技术领域涉及：B23K15/06；该发明授权一种电子束偏转扫描精度自动标定装置是由张伟;霍玮;黄俊媛;李子硕;张宇琦设计研发完成，并于2023-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电子束偏转扫描精度自动标定装置在说明书摘要公布了：本发明提出一种电子束偏转扫描精度自动标定装置，通过设置专门的电子束流采集装置、偏转扫描和同步高速数据采集电路，规划自动标定扫描路径，结合专门设计的偏转扫描精度标定软件，实现了大角度电子束偏转扫描精度的自动标定，大大提高了标定的自动化程度和效率；采用逐点扫描的方式按照顺时针正方形旋转的自动标定轨迹及电子束振荡搜寻穿过束流极大值的路径规划方法，可以确保当前标定点能够被找到且具有足够高的标定精度，不低于0.1d；通过81个标定孔的束流均采用81个独立的法拉第筒来收集，可以确保穿过上极板和上极板绝缘板后的电子束及电子束在法拉第筒金属壁上轰击产生的二次电子都被法拉第筒完全收集，从而提高标定精度。

本发明授权一种电子束偏转扫描精度自动标定装置在权利要求书中公布了：1.一种电子束偏转扫描精度自动标定装置，其特征在于，包括：工控机，偏转扫描精度标定软件、PCI任意波形发生卡、PCI高速数据采集卡、X方向偏转线圈驱动电路、Y方向偏转线圈驱动电路、电子枪、电子束流、X方向偏转扫描线圈、Y方向偏转扫描线圈、电子束采样装置、上极板束流信号放大电路、法拉第筒束流信号放大电路、法拉第筒阵列采样控制电路；其中，电子束采样装置由上极板、上极板绝缘板、陶瓷绝缘柱、法拉第筒阵列、下极板绝缘板、采样装置下极板及上极板束流采样电阻R1组成； 它们之间的位置连接关系是：偏转扫描精度标定软件安装在工控机中，实现电子束偏转电流设置、自动标定路径规划、上极板束流和法拉第筒阵列束流信号同步采集，电子束束斑与标定孔重合判定；工控机将电子束偏转扫描电流数据传输至PCI任意波形发生卡分别生成X方向偏转线圈驱动波形和Y方向偏转线圈驱动波形并通过两个独立的通道分别连接至X方向偏转线圈驱动电路和Y方向偏转线圈驱动电路进行偏转扫描电流放大，然后再分别连接至电子枪中安装的X方向偏转扫描线圈和Y方向偏转扫描线圈，在偏转扫描线圈中产生X方向和Y方向偏转磁场；电子束经过X方向偏转扫描线圈和Y方向偏转扫描线圈后偏转到电子束采样装置的某一标定点附近，然后电子束从偏转初始位置开始按照自动标定轨迹进行标定扫描；电子束采样装置的上极板下面依次安装有上极板绝缘板、法拉第筒阵列、下极板绝缘板和下极板，其中上极板和下极板为金属板，上极板、上极板绝缘板、下极板绝缘板和下极板通过四个陶瓷绝缘柱在采样装置的四个角进行固定连接，法拉第筒阵列固定在上极板绝缘板和下极板绝缘板之间，与金属上极板和下极板是绝缘的，金属上极板通过采样电阻R1连接至大地，金属下极板直接连接至大地，以形成电子束流通路；上极板标定孔、上极板绝缘板穿束孔、法拉第筒穿束孔的中心是对齐的。

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