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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种细长管道内壁同步清洗镀膜装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117551969B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311625370.X，技术领域涉及：C23C14/02；该发明授权一种细长管道内壁同步清洗镀膜装置及其使用方法是由田修波;胡天时;靳朋礼;巩春志设计研发完成，并于2023-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种细长管道内壁同步清洗镀膜装置及其使用方法在说明书摘要公布了：一种细长管道内壁同步清洗镀膜装置及其使用方法，它属于表面处理领域。它解决了现有细长管道内镀膜涂层均匀性差，污染物难以排出的问题。装置：包括电源Ⅰ、进水管Ⅰ、进气管Ⅰ、出水管Ⅰ、法兰Ⅰ、真空室、进气孔Ⅰ、卡具Ⅰ、靶Ⅰ、导轨、滑块、控制器、往复电机、待镀管、抽气口、靶Ⅱ、卡具Ⅱ、进气孔Ⅱ、法兰Ⅱ、出水管Ⅱ、进气管Ⅱ、进水管Ⅱ和电源Ⅱ。本发明装置采用相邻的两个柱状短靶同时进行细长管道内清洗和镀膜，保证了镀膜区域的清洁性和基体表面活性；保证了沉积膜层的均匀性，并避免了能够移动的装置与待镀管内壁的接触污染；通过控制器实现对待镀管运动方向和速度，以及电源极性和参数的自动控制，确保工艺过程的稳定性和连续性。

本发明授权一种细长管道内壁同步清洗镀膜装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种细长管道内壁同步清洗镀膜装置，其特征在于它包括电源Ⅰ1-1、进水管Ⅰ2-1、进气管Ⅰ3-1、出水管Ⅰ4-1、法兰Ⅰ5-1、真空室6、进气孔Ⅰ7-1、卡具Ⅰ8-1、靶Ⅰ9-1、导轨10、滑块11、控制器12、往复电机13、待镀管14、抽气口15、靶Ⅱ9-2、卡具Ⅱ8-2、进气孔Ⅱ7-2、法兰Ⅱ5-2、出水管Ⅱ4-2、进气管Ⅱ3-2、进水管Ⅱ2-2和电源Ⅱ1-2； 所述导轨10固定于真空室6内，待镀管14固定于滑块11上，滑块11受往复电机13牵引可带动待镀管14沿导轨10往复运动； 所述进水管Ⅰ2-1、进气管Ⅰ3-1、出水管Ⅰ4-1、卡具Ⅰ8-1、靶Ⅰ9-1、待镀管14、卡具Ⅱ8-2、出水管Ⅱ4-2、进气管Ⅱ3-2和进水管Ⅱ2-2同轴安装，进气管Ⅰ3-1开有进气孔Ⅰ7-1，进气管Ⅱ3-2开有进气孔Ⅱ7-2； 所述电源Ⅰ1-1与待镀管14和靶Ⅰ9-1电性连接，电源Ⅱ1-2与待镀管14和靶Ⅱ9-2电性连接，待镀管14与真空室6同电位，电源Ⅰ1-1、电源Ⅱ1-2极性与待镀管14运动方向受控制器12控制； 所述卡具Ⅰ8-1连接进气管Ⅰ3-1、出水管Ⅰ4-1和靶Ⅰ9-1；进气管Ⅰ3-1和出水管Ⅰ4-1从真空室6顶端伸出真空室6外，并通过法兰Ⅰ5-1固定于真空室6外壁； 卡具Ⅱ8-2连接进气管Ⅱ3-2、出水管Ⅱ4-2和靶Ⅱ9-2；进气管Ⅱ3-2和出水管Ⅱ4-2从真空室6底端伸出真空室6外，并通过法兰Ⅱ5-2固定于真空室6外壁；进气管Ⅱ3-2和出水管Ⅱ4-2可于法兰Ⅰ5-1或法兰Ⅱ5-2相对移动； 所述靶Ⅰ9-1和靶Ⅱ9-2之间留有间隙，也可通过绝缘卡具将二者相连接； 所述进气管Ⅰ3-1的下部呈环形均匀分布有进气孔Ⅰ7-1，进气管Ⅱ3-2的上部呈环形均匀分布有进气孔Ⅱ7-2；所述抽气口15设置于真空室6侧壁上； 所述电源Ⅰ1-1、电源Ⅱ1-2极性与待镀管14运动方向经控制器12控制进行匹配： 当待镀管14向真空室6底部运动时，电源Ⅰ1-1正极接靶Ⅰ9-1，负极接待镀管14用于清洗，电源Ⅱ1-2负极接靶Ⅱ9-2，正极接待镀管14用于沉积； 当待镀管14向真空室6顶部运动时，电源Ⅰ1-1负极接靶Ⅰ9-1，正极接待镀管14用于沉积，电源Ⅱ1-2正极接靶Ⅱ9-2，负极接待镀管14用于清洗； 所述控制器12在对电源Ⅰ1-1、电源Ⅱ1-2极性与待镀管14运动方向进行切换时，可同步实现对待镀管14运动速度、电源Ⅰ1-1和电源Ⅱ1-2工艺参数的调整； 所述电源Ⅰ1-1和电源Ⅱ1-2为直流电源或双极性电源；待镀管14为磁性或非磁性导电材料。

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