航天材料及工艺研究所崔子振获国家专利权
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龙图腾网获悉航天材料及工艺研究所申请的专利一种细晶钛硅靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117403195B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311252362.5，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种细晶钛硅靶材及其制备方法是由崔子振;王思伦;谢飞;林岩松;杨亚飞;黄国超;温凯文设计研发完成，并于2023-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种细晶钛硅靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种细晶钛硅靶材及其制备方法。该方法是以纯Ti粉和Ti5Si3合金粉末为原料，原料粉末经过球磨混合预处理后装包套进行真空热脱气处理，将脱气后的包套进行热等静压致密化处理，最后通过热处理稳定显微组织，减小内应力。本发明制备的钛硅靶材具有以下优点：1钛硅靶材只包含Ti相和Ti5Si3相两种物相，没有TiSi、TiSi2等其他物相；2钛硅靶材显微组织细小均匀，平均晶粒尺寸＜50μm；3钛硅靶材密度高，相对密度＞99％；4Ti相和Ti5Si3相分布均匀，无偏析；5硅元素含量高，硅元素含量最高可以达到35at％。
本发明授权一种细晶钛硅靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种细晶钛硅靶材，其特征在于，所述钛硅靶材为Ti相和Ti5Si3相构成的双相材料；在钛硅靶材中，Ti元素的占比为80~95%，Si元素的占比为5~20%； 所述钛硅靶材的原料为纯Ti粉和Ti5Si3合金粉末，通过热等静压工艺制备得到，其中热等静压的温度为700~799℃，压力140～150MPa，保温时间4～5h； 原料粉末满足： Ti粉的纯度是99.9%，激光粒度是D10=5～10μm、D50=25～35μm、D90=40～60μm，振实密度2.6～2.8gcm3，氧含量＜2000ppm； Ti5Si3合金粉末的纯度是99.8%，激光粒度是D10=3～8μm、D50=20～30μm、D90=35～55μm，振实密度2.3～2.5gcm3，氧含量＜2000ppm。
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