商先创国际股份有限公司米尔科·特罗勒获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉商先创国际股份有限公司申请的专利用于等离子体辅助的化学气相沉积的设备、系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117120667B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180054410.2，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权用于等离子体辅助的化学气相沉积的设备、系统和方法是由米尔科·特罗勒;延斯-乌韦·福克斯;拉尔夫·瑞兹;罗兰·莱希特设计研发完成，并于2021-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于等离子体辅助的化学气相沉积的设备、系统和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及用于等离子体辅助的化学气相沉积的设备1、系统50和方法100。在此，处理室2被配置成用于接纳至少一个工件载体30。根据本发明，该设备1被配置为用于借助于至少一个能够被该处理室2接纳的工件载体30来加热该处理室2。
本发明授权用于等离子体辅助的化学气相沉积的设备、系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于等离子体辅助的化学气相沉积的设备1，具有用于接纳至少一个工件载体30的处理室2， 其中，该设备1被配置为用于借助于至少一个能够被该处理室2接纳的工件载体30来加热该处理室2， 其特征在于： 开关装置22，该开关装置被配置为用于将至少一个能够被接纳的工件载体30选择性地与至少一个加热电压源25或等离子体电压源24连接，并且用于将至少一个工件载体30经由电流接口5选择性地整合到单一的用于引导高频交流电流的等离子体电路中以便作为等离子体装置工作和选择性地整合到用于引导低频交流电流的至少两个加热电路中以便作为加热装置工作。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人商先创国际股份有限公司，其通讯地址为：德国布劳博伊伦；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励