郑州大学李星获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州大学申请的专利一种β-Ga2O3纳米线/金刚石异质结及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116959955B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211645490.1,技术领域涉及:H10P14/24;该发明授权一种β-Ga2O3纳米线/金刚石异质结及其制备方法和应用是由李星;皇文涛;单崇新;林超男;万丽设计研发完成,并于2022-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种β-Ga2O3纳米线/金刚石异质结及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种β‑Ga2O3纳米线金刚石异质结及其制备方法和应用,所述方法包括以下步骤:在辅助衬底层上滴加金属液滴Ga;将金刚石衬底层与辅助衬底层放置在管式炉的同一温度区;在管式炉中,通入H2和Ar的混合气体,在负压条件下,以外界进入管式炉中的O2以及管式炉中残留的O2作为O源,在金刚石表面无催化生长β‑Ga2O3纳米线。本发明的方法无需预先对金刚石衬底进行额外的退火处理和预铺金属催化剂,无需直接通入O2,避免了在高温条件下金刚石衬底被O2刻蚀的现象,通过Ga在金刚石表面的气相沉积,在其上外延生长了β‑Ga2O3纳米线,该方法工艺简单,成本低。
本发明授权一种β-Ga2O3纳米线/金刚石异质结及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种β-Ga2O3纳米线金刚石异质结的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 1在辅助衬底层上滴加金属液滴Ga; 2将金刚石衬底层与辅助衬底层放置于管式炉的同一温度区; 3对管式炉抽真空至负压,并通入H2和Ar的混合气体,以外界空气进入管式炉中的O2以及管式炉中残留的O2作为O源,通过化学气相沉积的方法在金刚石衬底层表面生长β-Ga2O3纳米线; 混合气体的流量为100-200sccm,生长温度为800-1000℃,生长压力低于30Torr,生长时间为1-4h。
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