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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种加热盘的温度控制方法、加热盘及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116679775B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310836191.4，技术领域涉及：G05D23/20；该发明授权一种加热盘的温度控制方法、加热盘及半导体设备是由荒见淳一设计研发完成，并于2023-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种加热盘的温度控制方法、加热盘及半导体设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种加热盘的温度控制方法、加热盘及半导体设备，加热盘包括多个调温区域，调温区域包括金属回路。方法包括：在工艺过程中的多个第一固定时间段对每个调温区域进行多次温度采样，以及在工艺结束后的第二固定时间段对每个调温区域进行温度采样，得到每个调温区域的多个采样温度值。将采样温度值和设定温度值进行计算分析，得到每个调温区域的校正温度值。获取每个调温区域的校正温度值和实施校正温度值时金属回路的电流值的对应关系，这样就可以根据对应关系以及实施校正温度值时金属回路的电流值控制每个调温区域的实际温度值。施加校正温度值后得到的实际温度值趋近设定温度值，实现对加热盘每个调温区域的温度准确控制。

本发明授权一种加热盘的温度控制方法、加热盘及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种加热盘的温度控制方法，其特征在于，所述加热盘包括多个调温区域，所述调温区域包括金属回路；所述方法包括： 在工艺过程中的多个第一固定时间段对每个所述调温区域进行多次温度采样，以及在工艺结束后的第二固定时间段对每个所述调温区域进行温度采样，得到每个所述调温区域的多个采样温度值；所述第一固定时间段为静电卡盘电源和射频电源关断的时间段，所述第二固定时间段为所述静电卡盘电源和所述射频电源关断后的时间段； 将所述采样温度值和设定温度值进行计算分析，得到每个所述调温区域的校正温度值，所述设定温度值为每个所述调温区域的预先设定的温度值； 获取每个所述调温区域的所述校正温度值和实施所述校正温度值时所述金属回路的阻抗值之间的温度-阻抗曲线； 获取每个所述调温区域的实施所述校正温度值时所述金属回路的阻抗值和实施所述校正温度值时所述金属回路的电流值的计算公式； 根据所述温度-阻抗曲线和所述计算公式得到每个所述调温区域的所述校正温度值和实施所述校正温度值时所述金属回路的电流值的对应关系； 根据所述对应关系以及实施所述校正温度值时所述金属回路的电流值控制每个所述调温区域的实际温度值，所述实际温度值和所述设定温度值的差值小于第一阈值；其中，所述金属回路和所述加热盘的加热面之间的距离小于第二阈值。

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