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龙图腾网获悉北京信息科技大学申请的专利三热源三轴微机械加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116626336B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310668381.X，技术领域涉及：G01P15/03；该发明授权三热源三轴微机械加速度计是由朴林华;佟嘉程设计研发完成，并于2023-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本三热源三轴微机械加速度计在说明书摘要公布了：本发明公开了一种三热源三轴微机械加速度计，其包括基底层、敏感层、和盖板；敏感层分三部分，分别检测X、Z、Y轴加速度，每个位置中心下方设置腔体，腔体中心设置加热器；敏感层检测X、Y轴加速度部分包含有两个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；检测Z轴加速度部分热敏电阻在中心腔体内；加热器和热敏电阻的通电方式均为直流电；三轴微机械加速度计加热器在检测腔体中心，敏感层在中心检测腔体上方；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的表面密闭连接。本发明采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，一致性好，便于引入传感器调理电路，进行温度补偿和非线性度补偿，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。

本发明授权三热源三轴微机械加速度计在权利要求书中公布了：1.一种三热源三轴微机械加速度计，包括基底层、敏感层、和盖板，其中， 所述敏感层分三部分，分别检测X、Z、Y轴加速度，每个位置中心下方设置腔体，腔体中心设置加热器；所述基底层、敏感层键合在一起； 定义加速度计的长宽方向分别为X，Y方向，敏感层的高度方向为Z向；X、Y检测部分热敏电阻的放置方向分别与X、Y方向垂直；用于检测X、Y轴的加速度；Z轴检测部分热敏电阻沿X轴垂直放置，与X轴检测部分热敏电阻共同检测Z轴加速度； 所述加热器通过设置在检测腔的中心位置，形成三热源三轴微机械加速度计加热器；X、Y检测部分两个热敏电阻位于敏感层，分别沿Y、X方向对称的设置在加热器的左、右两侧；Z检测部分两个热敏电阻位于中间腔体内，沿着Y方向对称的设置在加热器的左、右两侧； X、Z加热器的两端沿着Y方向覆盖对称的电极，形成加热源；Y加热器的两端沿着X方向覆盖对称的电极，形成加热源； 加热器和热敏电阻的通电方式均为直流电； 所述盖板和基底层将中间检测腔的气体介质与外界隔离，形成一个密封的敏感系统；中间加热腔与上盖中凹槽的深度为总的腔体高度z，300μm≤z≤1000μm； 所述盖板的凹槽深度为盖板高度的23； 所述敏感层的所述加热器和热敏电阻的总高度为100nm至1000nm； 所述热敏电阻的长度为整个敏感层宽度的16至14； 所述加热器的长度为整个敏感层宽度的18至16； 所述热敏电阻和加热器是由铬层、铂层和金层组成的金属层构成。

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