杭州电子科技大学郑磊获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州电子科技大学申请的专利一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116520470B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310528860.1,技术领域涉及:G02B5/20;该发明授权一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片是由郑磊;张钰;逯鑫淼;高敏;张朝晖;袁友芬;向广明;熊磊设计研发完成,并于2023-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片,包括依次层叠的基底层、中间层和周期性的光栅阵列。所述中间层的折射率为1.4~1.5。所述周期性光栅阵列包括多个周期性排列的直条形层叠式光栅,其线宽W范围150~180nm,周期P范围为160~400nm。所述层叠式光栅自下而上分别为底部Ag层、BK7层、MgF2层和顶部Ag层,MgF2层的厚度Hm与BK7层的厚度Hb满足HmHb=0.55,底部Ag层和顶部Ag层的厚度相等。通过调节光栅阵列的周期P或厚度,可以使滤光片的调谐范围覆盖整个可见光波段的目标共振峰。同时,该滤波器的多种共振模式谐振,可以提高透射率。
本发明授权一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片在权利要求书中公布了:1.一种基于层叠式亚波长光栅的高透射连续可调谐滤光片,依次层叠的基底层、中间层和周期性的光栅阵列,其特征在于:所述中间层的折射率为1.4~1.5;所述周期性的光栅阵列包括多个周期性排列的直条形层叠式光栅,光栅周期P为160~400nm;层叠式光栅的线宽W为150~180nm,自下而上分别为底部Ag层、BK7层、MgF2层和顶部Ag层,MgF2层的厚度Hm与BK7层的厚度Hb满足HmHb=0.55,底部Ag层和顶部Ag层的厚度相等。
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