长鑫存储技术有限公司高玉龙获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利改善晶圆镀膜均匀性的方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116479490B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210039033.1，技术领域涉及：C25D7/12；该发明授权改善晶圆镀膜均匀性的方法及系统是由高玉龙设计研发完成，并于2022-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本改善晶圆镀膜均匀性的方法及系统在说明书摘要公布了：本公开提供了一种改善晶圆镀膜均匀性的方法及系统，所述改善晶圆镀膜均匀性的方法包括：提供镀膜设备；提供晶圆，所述镀膜设备用于向所述晶圆镀膜；在镀膜过程中，监测所述晶圆表面不同区域的电流；当所述晶圆表面不同区域的电流的差值大于预设差值时，检查所述镀膜设备；当所述镀膜设备上有附着物时，对所述镀膜设备进行清洗。上述技术方案，通过在镀膜过程中，监测所述晶圆表面不同区域的电流，能够及时发现镀膜过程中晶圆表面存在的镀膜不均匀的区域；当所述晶圆表面不同区域的电流的差值大于预设差值时，检查所述镀膜设备，以确定所述镀膜设备中需要维护的零部件；当所述镀膜设备上有附着物时，清洗所述镀膜设备，改善晶圆镀膜的均匀性。
本发明授权改善晶圆镀膜均匀性的方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种改善晶圆镀膜均匀性的方法，其特征在于，包括： 提供镀膜设备； 提供晶圆，所述镀膜设备用于向所述晶圆镀膜； 在镀膜过程中，监测所述晶圆表面不同区域的电流； 当所述晶圆表面不同区域的电流的差值大于预设差值时，检查所述镀膜设备； 当所述镀膜设备上有附着物时，对所述镀膜设备进行清洗； 对所述镀膜设备进行清洗包括对镀膜针的清洗； 对所述镀膜针进行清洗包括： 使用碱性溶液对所述镀膜针进行浸泡； 使用清水对所述镀膜针进行清洗； 使用酸性溶液与双氧水的混合液对所述镀膜针进行浸泡，浸泡时间大于30分钟； 使用清水对镀膜针进行清洗； 其中，所述碱性溶液为氨水，所述氨水的浓度为10%~30%，所述酸性溶液为硫酸。
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