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龙图腾网获悉河北普兴电子科技股份有限公司申请的专利一种工艺腔室、基座水平监测方法和控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116463616B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310465096.8，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权一种工艺腔室、基座水平监测方法和控制装置是由苗凯;薛宏伟;袁肇耿;仇根忠;赵叶军;吴子凡设计研发完成，并于2023-04-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种工艺腔室、基座水平监测方法和控制装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种工艺腔室、基座水平监测方法和控制装置。该工艺腔室包括基座、钟罩、至少两个测距传感器以及控制装置；基座位于钟罩内；基座的上表面为圆形；至少两个测距传感器设于基座上方，且位于钟罩外；至少两个测距传感器处于同一水平面，至少两个测距传感器在基座上的投影位置围绕基座的圆心分布，且到基座的圆心距离相同；至少两个测距传感器用于在基座旋转至少一圈的过程中，测量其到基座在竖直方向的多个距离，将多个距离发送到控制装置；控制装置用于根据多个距离，判断基座是否处于水平。本申请能够实现在钟罩安装完毕后对基座的水平状态进行监测，并提高对基座水平状态监测的精确度。

本发明授权一种工艺腔室、基座水平监测方法和控制装置在权利要求书中公布了：1.一种工艺腔室，其特征在于，包括基座、钟罩、至少两个测距传感器以及控制装置； 所述基座位于所述钟罩内；所述基座的上表面为圆形； 所述至少两个测距传感器设于所述基座上方，且位于所述钟罩外；所述至少两个测距传感器处于同一水平面，所述至少两个测距传感器在所述基座上的投影位置围绕所述基座的圆心分布，且到所述基座的圆心距离相同；所述至少两个测距传感器用于在所述基座旋转至少一圈的过程中，测量其到所述基座在竖直方向的多个距离，将所述多个距离发送到所述控制装置； 所述控制装置用于根据所述多个距离，判断所述基座是否处于水平；其中，所述基座的旋转速度与所述至少两个测距传感器的采集周期的关系为： 将所述基座按照旋转速度旋转一周的角度与所述测距传感器的数量作比得到所述至少两个测距传感器之间的对应角度，并将所述对应角度与所述基座的旋转速度作比，得到第一时长，所述第一时长为所述至少两个测距传感器的采集周期的整数倍； 所述至少两个测距传感器在所述基座上的投影位置围绕所述基座的圆心均匀分布，所述至少两个测距传感器包括两个测距传感器，分别为第一测距传感器和第二测距传感器； 所述第一测距传感器用于在所述基座匀速旋转的第一周期内，测量到所述基座上N个测量点的竖直方向的第一距离； 所述第二测距传感器用于在所述基座匀速旋转的所述第一周期内，测量到所述基座上所述N个测量点的竖直方向的第二距离； 所述第一测距传感器在所述第一周期的前半个周期测量的N2个测量点，与所述第二测距传感器在所述第一周期的后半个周期测量的N2个测量点对应一致； 所述第一测距传感器在所述第一周期的后半个周期测量的N2个测量点，与所述第二测距传感器在所述第一周期的前半个周期测量的N2个测量点对应一致； 所述控制装置，具体用对于每个测量点，将所述第一测距传感器测量该测量点得到的第一距离，与所述第二测距传感器测量该测量点得到的第二距离作差，得到该测量点对应的第一差值； 若全部测量点所对应的第一差值均小于等于预设差值，则判断所述基座处于水平； 或者，从全部测量点中选取多个目标测量点，若所述多个目标测量点所对应的第一差值均小于等于所述预设差值，则判断所述基座处于水平。

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