株式会社日本显示器竹中贵史获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日本显示器申请的专利蒸镀装置及蒸镀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116426882B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310030010.9，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权蒸镀装置及蒸镀方法是由竹中贵史;武田笃设计研发完成，并于2023-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸镀装置及蒸镀方法在说明书摘要公布了：本发明涉及蒸镀装置及蒸镀方法。根据一个实施方式，蒸镀装置具备：载置台、与前述载置台相对的蒸镀头、和腔室，前述腔室收容前述载置台及前述蒸镀头，前述蒸镀头具备蒸镀源、喷嘴、控制板和移动机构，前述蒸镀源对材料进行加热以产生蒸气，前述喷嘴与前述蒸镀源连接，朝向前述载置台喷出由前述蒸镀源产生的蒸气，前述控制板具备包围前述喷嘴的套筒，前述移动机构使前述控制板沿着前述套筒的延伸方向移动。
本发明授权蒸镀装置及蒸镀方法在权利要求书中公布了：1.蒸镀装置，其具备： 第1蒸镀头，其构成为在处理基板上蒸镀第1材料；和 第2蒸镀头，其构成为在蒸镀有所述第1材料的所述处理基板上蒸镀第2材料， 所述第1蒸镀头及所述第2蒸镀头各自具备： 对材料进行加热以产生蒸气的蒸镀源； 多个喷嘴，所述喷嘴与所述蒸镀源的底面连接，并且沿所述底面的法线方向延伸，喷出由所述蒸镀源产生的蒸气； 控制板，其为与所述底面平行的平板状；和 与所述多个喷嘴相同数量的多个套筒，所述套筒与所述控制板连接，将所述多个喷嘴分别单独包围，与所述喷嘴的前端相比更朝向所述处理基板延伸， 所述第2蒸镀头中的从所述喷嘴的前端至所述套筒的前端为止的距离小于所述第1蒸镀头中的从所述喷嘴的前端至所述套筒的前端为止的距离， 所述多个套筒各自将所述多个喷嘴各自遍及整周地包围，并且形成为在所述喷嘴的延伸方向上延伸的圆筒状。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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