哈尔滨工业大学刘辰光获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利基于圆二向色性暗场非线性热波共焦显微测量装置与方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116399222B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310253068.X,技术领域涉及:G01B9/04;该发明授权基于圆二向色性暗场非线性热波共焦显微测量装置与方法是由刘辰光;刘俭;陈钊;华子杰设计研发完成,并于2023-03-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于圆二向色性暗场非线性热波共焦显微测量装置与方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于圆二向色性暗场非线性热波共焦显微测量装置和方法,装置包括:时分复用圆偏光产生模块,用于将偏振激光分为左右旋圆偏光,调制后耦合;热波探测光整形模块,用于将耦合的光束整形成环形光;热波泵浦光产生模块,用于产生热波泵浦光;光束照明模块,用于利用环形光和热波泵浦光合束后的光束对待测样品进行扫描;暗场非线性热波探测模块,用于过滤出扫描光束中的热波散射光,根据热波散射光得到暗场热波信号,对暗场热波信号进行解调得到圆二向色性暗场热波成像结果。通过本发明可获取多种几何缺陷的三维分布信息以及缺陷的手性检测。
本发明授权基于圆二向色性暗场非线性热波共焦显微测量装置与方法在权利要求书中公布了:1.一种基于圆二向色性暗场非线性热波共焦显微测量装置,其特征在于,包括时分复用圆偏光产生模块、热波探测光整形模块、热波泵浦光产生模块、光束照明模块和暗场非线性热波探测模块, 所述时分复用圆偏光产生模块通过偏振光栅将偏振激光分为左旋圆偏光和右旋圆偏光,所述左旋圆偏光和所述右旋圆偏光分别经声光调制器调制后,进入光纤耦合器耦合,得到耦合的光束; 所述热波探测光整形模块用于将所述耦合的光束整形成环形光; 所述热波泵浦光产生模块用于产生热波泵浦光,并通过斩波器对所述热波泵浦光进行调制,调制频率为f,所述热波泵浦光具有和所述左旋圆偏光以及所述右旋圆偏光相同强度的分量; 所述光束照明模块利用所述环形光和所述热波泵浦光合束后的光束对待测样品进行扫描,得到扫描后的光束; 所述暗场非线性热波探测模块用于过滤出所述扫描后的光束中的热波散射光,所述热波散射光经探测后得到暗场热波信号,所述暗场非线性热波探测模块包括锁相放大器,所述锁相放大器以2f的频率对所述热波散射信号进行探测; 对所述暗场热波信号进行解调得到圆二向色性暗场热波成像结果。
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