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龙图腾网获悉中国科学院上海高等研究院申请的专利一种能散补偿器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116345280B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310425268.9，技术领域涉及：H01S3/09；该发明授权一种能散补偿器是由雷阳阳;相升旺;袁启兵;陈双梅;张猛;蒋志强;赵烨梁设计研发完成，并于2023-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种能散补偿器在说明书摘要公布了：本发明提供一种能散补偿器，包括：真空结构体，其内腔设有上褶皱板和下褶皱板，其提供真空环境；机械结构，其承载真空结构体，具有与上褶皱板和下褶皱板连接的传动机构，传动结构包括在真空结构体的靠近入口端的上部和下部分别安装的入口上、入口下梁传动机构，以及在真空结构体的靠近出口端的上部和下部分别安装的出口上、出口下梁传动机构；以及控制系统，设置为驱动传动机构，进而带动上褶皱板和下褶皱板运动，调节上褶皱板和下褶皱板之间的间距的大小。本发明的采用四个步进电机联动来调节两褶皱板之间的间隙和夹角，以补偿电子束能散，且在光栅尺读数头损坏时使用旋转编码器作为位置反馈仍能调节能散补偿器。

本发明授权一种能散补偿器在权利要求书中公布了：1.一种能散补偿器，其特征在于，包括： 真空结构体，其内腔设有上褶皱板和下褶皱板，设置为向上褶皱板和下褶皱板提供真空环境； 机械结构，其设置为承载真空结构体，其具有与上褶皱板和下褶皱板连接的传动机构，所述传动机构的数量为4个，包括在真空结构体的靠近入口端的上部和下部分别安装的入口上梁传动机构、入口下梁传动机构，以及在真空结构体的靠近出口端的上部和下部分别安装的出口上梁传动机构、出口下梁传动机构；以及 控制系统，设置为驱动机械结构中的传动机构，进而带动上褶皱板和下褶皱板运动，调节上褶皱板和下褶皱板之间的间距的大小； 所述机械结构包括支架、安装于支架上的调节底座、安装于调节底座上的立板、以及安装于立板上的所述传动机构，入口上梁传动机构、出口上梁传动机构这两个传动机构和入口下梁传动机构、出口上梁传动机构这两个传动机构关于真空结构体上、下对称布置，入口上梁传动机构、入口下梁传动机构和出口上梁传动机构、出口下梁传动机构左右对称布置。

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