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龙图腾网获悉吉林建筑大学申请的专利一种基于Li掺杂氧化锌锡的双有源层氧化物薄膜晶体管的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313815B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310073364.1，技术领域涉及：H10D30/01；该发明授权一种基于Li掺杂氧化锌锡的双有源层氧化物薄膜晶体管的制备方法是由郭亮;王冲;迟耀丹;杨小天;王超;杨帆;初学峰;高晓红;王欢;杨佳;吕卅;王苏浩;王庆;李东旭设计研发完成，并于2023-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于Li掺杂氧化锌锡的双有源层氧化物薄膜晶体管的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于Li掺杂氧化锌锡的双有源层氧化物薄膜晶体管的制备方法，包括：一、通过光刻剥离方法在基底上刻蚀出有多个有源层沉积区；二、利用掺Li氧化锌靶材和金属锡靶材在有源层沉积区上磁控溅射沉积掺Li氧化锌锡薄膜，得到第一有源层；以及利用氧化锌靶材和金属锡靶材在第一有源层上磁控溅射沉积氧化锌锡薄膜，得到第二有源层；其中，在沉积第一有源层时，O2的分压为0；在沉积第二有源层时，O2的分压为5％；三、对沉积有源层的基底去胶后，退火；四、通过光刻剥离方法在退火后的基底上刻蚀出多个电极沉积区；每个电极沉积区包括间隔设置的源电极沉积区和漏电极沉积区；五、在源电极沉积区和漏电极沉积区上沉积电极层后，去胶。

本发明授权一种基于Li掺杂氧化锌锡的双有源层氧化物薄膜晶体管的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于Li掺杂氧化锌锡的双有源层氧化物薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤一、对基底进行预处理后，通过光刻剥离方法在所述基底上曝光显影出有多个有源层沉积区； 步骤二、利用掺Li氧化锌靶材和金属锡靶材在所述有源层沉积区上磁控溅射沉积掺Li氧化锌锡薄膜，得到第一有源层；以及利用氧化锌靶材和金属锡靶材在所述第一有源层上磁控溅射沉积氧化锌锡薄膜，得到第二有源层； 其中，在进行有源层沉积时，以Ar和O2混合气体作为工作气体；在沉积所述第一有源层时，O2的分压为0；在沉积所述第二有源层时，O2的分压为5％； 步骤三、对沉积有源层的基底去胶后，退火； 步骤四、通过光刻剥离方法在退火后的基底上曝光显影出多个电极沉积区；所述电极沉积区与所述有源层沉积区一一对应，并且位于所述第二有源层上方，每个所述电极沉积区包括间隔设置的源电极沉积区和漏电极沉积区； 步骤五、在所述源电极沉积区和漏电极沉积区上沉积电极层后，去胶，得到晶体管。

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