中国科学院微电子研究所曹冰倩获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利位置敏感探测器的位置测量标定方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116295009B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310232405.7，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权位置敏感探测器的位置测量标定方法及装置是由曹冰倩;卢增雄;李璟;苏佳妮设计研发完成，并于2023-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本位置敏感探测器的位置测量标定方法及装置在说明书摘要公布了：本公开提供了一种位置敏感探测器的位置测量标定方法及装置，该方法包括：将位置敏感探测器固定在精密位移台上，生成激光束照射位置敏感探测器，激光光束与位置敏感探测器的光敏面垂直；在移动路径上按预设的移动步长移动位置敏感探测器，采集位置敏感探测器在不同位置响应激光束产生的模拟电压，得到模拟电压与位置敏感探测器的位置之间的转换系数；采用不同的移动步长，重复上述步骤，得到多个转换系数；基于多个转换系数计算修正系数；基于修正系数对转换系数进行误差修正，将误差修正后的转换系数用于位置测量标定。该方法使用的装置简单，容易操作，对位置敏感探测器的位置信息的标定系数进行了修正，提高了位置探测的精确性。
本发明授权位置敏感探测器的位置测量标定方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种位置敏感探测器的位置测量标定方法，其特征在于，包括： 将位置敏感探测器固定在精密位移台上，生成激光束照射所述位置敏感探测器，所述激光光束与所述位置敏感探测器的光敏面垂直； 在移动路径上按预设的移动步长移动所述位置敏感探测器，采集所述位置敏感探测器在不同位置响应所述激光束产生的模拟电压，得到所述模拟电压与所述位置敏感探测器的位置之间的转换系数； 采用不同的移动步长，重复上述步骤，得到多个转换系数； 基于所述多个转换系数计算修正系数，包括： 计算所述多个转换系数各自的标准化值，并基于所述标准化值计算所述多个转换系数各自所占的比重； 基于所述比重计算所述多个转换系数各自的重要性评价系数； 基于所述重要性评价系数计算所述修正系数； 基于所述修正系数对所述转换系数进行误差修正，将误差修正后的转换系数用于位置测量标定。
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