中国电子科技集团公司第二十九研究所侯奇峰获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第二十九研究所申请的专利一种多芯片组件射频通道内键合金丝尺寸测量方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116182705B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310107718.X,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权一种多芯片组件射频通道内键合金丝尺寸测量方法及系统是由侯奇峰;王纯江;张平升;郝立峰;朱晨俊;唐鑫;张晏铭;黎雪婷;向伟玮;伍艺龙设计研发完成,并于2023-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多芯片组件射频通道内键合金丝尺寸测量方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种多芯片组件射频通道内键合金丝尺寸测量方法及系统,属于集成电路封装领域,其测量系统包括:测量系统控制模块、工作平台、运动模块、视觉模块、探头及传感器模块;并基于该测量系统提出了一种测量方法,包括:步骤S1:建立键合金丝尺寸标准测量模型;步骤S2:待测量件准备及确认;步骤S3:编辑测量程序;步骤S4:执行测量程序;步骤S5:测量结果报告生成;本发明,可显著提升测量结果可信度与测量效率,有助于提高多芯片组件射频通道金丝键合生产过程质量控制能力、缩短射频通道生产周期。
本发明授权一种多芯片组件射频通道内键合金丝尺寸测量方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种多芯片组件射频通道内键合金丝尺寸测量系统,其特征在于,包括: 测量系统控制模块,所述测量系统控制模块用于编辑测量程序、驱动系统内其余部分执行测量程序,并根据对接收到的电信号和力信号测量结果进行分析,生成测量报告; 工作平台,所述工作平台用于放置待测量件、安装系统内包含的运动模块和其余部分; 运动模块,所述运动模块用于在测量系统控制模块驱动下执行测量程序中设定的运动动作,使探头按照指定速度与精度要求运动至制定点位; 视觉模块,所述视觉模块用于获取待测量件的键合金丝区域内的图像信息、高度信息; 探头及传感器模块,所述探头及传感器模块用于在测量系统控制模块驱动下、在运动模块控制下与待测量件中的键合金丝进行接触,获取接触后的力学信号和电学信号并反馈给测量系统控制模块; 所述探头及传感器模块,包含:探头支撑体、探头、力传感器、电流表; 力信号与电信号获取及反馈方式如下: 步骤A:在探头与键合金丝发生接触之前,力传感器无传感信号,电流表有信号A1; 步骤B:一旦在探头与键合金丝接触时,力传感器感应到力信号,电流表信号读数会发生变化,从A1变化到A2; 步骤C:当测量系统控制模块接收到力信号、电信号变化量信号中的一种或两种时,立即控制运动机构停止运动,并记录探头X-Y-Z坐标数据,将该数据作为键合金丝曲线形状中的一个点的位置; 步骤D:记录完成后,在图像模块引导下,沿着键合金丝延伸方向进行下一个点位的测量,并开始步骤B和步骤C。
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