信越化学工业株式会社畠山润获国家专利权
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龙图腾网获悉信越化学工业株式会社申请的专利正型抗蚀剂材料及图案形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116136647B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211439146.7，技术领域涉及：G03F7/039；该发明授权正型抗蚀剂材料及图案形成方法是由畠山润;大山皓介;菊地骏设计研发完成，并于2022-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本正型抗蚀剂材料及图案形成方法在说明书摘要公布了：本发明涉及正型抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题是提供酸的扩散受到控制，具有优于已知的正型抗蚀剂材料的分辨率，边缘粗糙度、尺寸偏差小，且曝光后的图案形状良好的正型抗蚀剂材料及图案形成方法。该课题的解决手段为一种正型抗蚀剂材料，含有末端被含连接于硫醚基的羧酸阴离子的锍盐封端而成的基础聚合物。
本发明授权正型抗蚀剂材料及图案形成方法在权利要求书中公布了：1.一种正型抗蚀剂材料，含有：末端被含连接于硫醚基的羧酸阴离子的锍盐封端而成的基础聚合物， 其中，该末端的结构为下式a表示者； 式中，X1为碳数1～20的亚烃基，且该亚烃基也可含有选自羟基、醚键、硫醚基、酯键、碳酸酯键、氨基甲酸酯键、内酯环、磺内酯环及卤素原子中的至少1种； R1～R3分别独立地为碳数1～20的烃基，且也可含有选自氧原子、硫原子、氮原子及卤素原子中的至少1种；又，R1与R2也可互相键结并和它们键结的硫原子一起形成环； 虚线为原子键。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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