长鑫存储技术有限公司陈信宏获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利传送装置及晶圆制作设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115966494B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111169632.7，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权传送装置及晶圆制作设备是由陈信宏;黄焱誊设计研发完成，并于2021-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本传送装置及晶圆制作设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种传送装置及晶圆制作设备，涉及半导体加工设备技术领域，用于解决传送装置的传送可靠性低的问题，该传送装置包括多个传动轮、环形的传送带和监测机构，传送带套设在多个传动轮上；监测机构包括第一监测单元，第一监测单元位于传送带的沿转动轴向的一侧，且第一监测单元面向传送带，第一监测单元被配置为监测传送带在传动轮的径向上是否位于预设区域之外，其中，预设区域的边界在传动轮的径向上与传送带在张紧状态下的轨迹之间设有预设间距。该晶圆制作设备包括上述传送装置。本申请能够提高传送装置的传送可靠性。
本发明授权传送装置及晶圆制作设备在权利要求书中公布了：1.一种传送装置，其特征在于，包括：多个传动轮、环形的传送带和监测机构，所述传送带套设在多个所述传动轮上； 所述监测机构包括第一监测单元，所述第一监测单元位于所述传送带的沿转动轴向的一侧，且所述第一监测单元面向所述传送带，所述第一监测单元被配置为监测所述传送带在所述传动轮的径向上是否位于预设区域之外，其中，所述预设区域的边界在所述传动轮的径向上与所述传送带在张紧状态下的轨迹之间设有预设间距。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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