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龙图腾网获悉上海稷以科技有限公司申请的专利一种微调顶针装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115910879B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211190195.1，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种微调顶针装置是由杨平;张志强设计研发完成，并于2022-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种微调顶针装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆设备领域，一种微调顶针装置，主要用于工艺腔内狭小空间中微调LiftPin的高度和垂直度，尤其在真空工艺腔内底部空间局限情况下进行调整，结构包括顶针支撑环1和顶针支撑环2，调整块、弹簧，顶针支撑环1上设置有水平调节顶丝、高度&垂直度调节顶丝；顶针支撑环2位于顶针支撑环1下方，顶针支撑环1连接；顶针支撑环2上设有弹簧限位柱，弹簧套设在所述的弹簧限位柱上；调整块套设在所述的弹簧限位柱上；与弹簧接触；顶丝下端与所述的调整块上表面接触；顶针下端固定在顶针基座上；顶针基座穿过所述的顶针通孔，与调整块的上表面接触。

本发明授权一种微调顶针装置在权利要求书中公布了：1.一种微调顶针装置，其特征在于，包括顶针支撑环1和顶针支撑环2、调整块、弹簧，其中， 所述的顶针支撑环1上设置有顶针通孔、水平调节顶丝、高度和垂直度调节顶丝； 所述的顶针支撑环2位于所述顶针通孔下方，所述的顶针支撑环2上设有弹簧限位柱； 所述的弹簧套设在所述的弹簧限位柱上；所述的调整块上表面平滑，下表面具有环形凸起，套设在所述的弹簧限位柱上；环形凸起与所述弹簧接触；所述高度和垂直度调节顶丝下端与所述的调整块上表面接触；顶针下端固定在顶针基座上； 所述的顶针基座通过所述的顶针通孔，与所述的调整块的上表面接触； 所述的顶针支撑环2上设有螺丝通孔，与所述的顶针支撑环1通过螺丝固定连接；所述的顶针支撑环2上设置有弹簧限位槽和固定螺丝通孔； 所述的顶针支撑环1设有长方形顶针通孔，所述顶针基座为长方形，设置有螺纹孔，顶针底端可以旋入所述螺纹孔固定； 所述的调整块为圆形； 所述的顶针通孔周围均匀分布3个顶丝螺纹孔，所述的高度和垂直度调节顶丝通过所述顶丝螺纹孔接触所述的调整块表面；所述的顶针支撑环1与气缸或电机连接。

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