上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司江峰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司申请的专利一种分布式在线加热系统及在线加热方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115831816B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211480464.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种分布式在线加热系统及在线加热方法是由江峰;陶明生;刘大威;杨鑫设计研发完成，并于2022-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分布式在线加热系统及在线加热方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种分布式在线加热系统及在线加热方法，所述在线加热系统包括供液泵、工艺槽体及连接在所述工艺泵和工艺槽体之间的至少两个加热单元，所述加热单元包括：加热管、连接管路及设置在连接管路上的第一控制阀、第二控制阀第三控制阀及第四控制阀，所述第一控制阀连接供液泵的输出端与所述加热管的输入端；所述第二控制阀连接加热管的输出端与下一加热单元中加热管的输入端；所述第三控制阀连接加热管的输入端与下一加热单元中加热管的输入端；所述第四控制阀连接加热管的输出端与工艺槽体的输入端，且所述第四控制阀与第二控制阀并联设置。本发明可以实现多种加热工艺在同一加热系统供应，极大提高了在线加热系统的工艺覆盖能力。
本发明授权一种分布式在线加热系统及在线加热方法在权利要求书中公布了：1.一种分布式在线加热系统，其特征在于，包括供液泵、工艺槽体及连接在所述供液泵和工艺槽体之间的至少两个加热单元，所述加热单元采用分布式连接方式； 所述加热单元包括：加热管、连接管路及设置在所述连接管路上的第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀及第四控制阀，其中， 所述第一控制阀连接所述供液泵的输出端与所述加热管的输入端； 所述第二控制阀连接所述加热管的输出端与下一加热单元中所述加热管的输入端； 所述第三控制阀连接所述加热管的输入端与下一加热单元中所述加热管的输入端； 所述第四控制阀连接所述加热管的输出端与所述工艺槽体的输入端，且所述第四控制阀与所述第二控制阀并联设置。
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