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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利缺陷检测方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115661021B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110777266.7，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权缺陷检测方法、装置、设备及存储介质是由陈振豪设计研发完成，并于2021-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本缺陷检测方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种缺陷检测方法、装置、设备及存储介质，其中，所述方法包括：获取包括待检测晶圆的晶边的量测图像；从所述量测图像中确定待检测的图像区域；对所述待检测的图像区域进行特征提取，得到所述待检测的图像区域的像素分布特征；基于所述待检测的图像区域的像素分布特征，对所述晶边进行缺陷检测。本申请实施例中，可以降低人力成本，并能减少漏检或误检的情况，及时发现待检测晶圆的晶边存在的缺陷。此外，还可以有效提高缺陷检测的效率。

本发明授权缺陷检测方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种缺陷检测方法，其特征在于，所述方法包括： 获取包括待检测晶圆的晶边的量测图像； 确定预设特征，所述预设特征至少包括第一预设像素分布特征； 基于所述预设特征，将所述量测图像中与包含所述预设特征的图形区域确定为待检测的图像区域； 对所述待检测的图像区域进行数值化处理，并对所述待检测的图像区域中的不同数值的像素进行统计，得到所述待检测的图像区域的像素分布特征；基于所述待检测的图像区域的像素分布特征，对所述晶边进行缺陷检测； 其中，确定所述第一预设像素分布特征的步骤包括： 获取预设的异常图像库，其中，所述异常图像库中包括至少一张异常量测图像，每一所述异常量测图像中包含缺陷； 将每一所述异常量测图像在纵向维度上进行切割，得到第二图像区域集，所述第二图像区域集中的每一图像区域对应所述纵向维度上的不同位置范围，所述纵向维度为所述异常量测图像中与晶圆厚度的量测方向对应的方向维度； 基于每一所述异常量测图像中缺陷所处的图像区域，从所述第二图像区域集中筛选包括至少一处缺陷的图像区域，得到第一图像区域集； 将第一图像区域集中每一图像区域进行数值化处理，对第一图像区域集中每一图像区域中不同数值的像素在横向维度上的分布进行统计，确定所述第一图像区域集中每一图像区域在横向维度上的像素分布特征，所述横向维度为量测图像中与纵向维度垂直的方向维度； 基于所述第一图像区域集中每一图像区域在所述横向维度上的像素分布特征，确定所述第一预设像素分布特征。

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