北京工业大学赵宇获国家专利权
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龙图腾网获悉北京工业大学申请的专利一种基于自混合干涉的双路微位移探测装置、方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115523846B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211306618.1,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权一种基于自混合干涉的双路微位移探测装置、方法及系统是由赵宇;张梦雷;陈涛设计研发完成,并于2022-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于自混合干涉的双路微位移探测装置、方法及系统在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于自混合干涉的双路微位移探测装置、方法及系统,属于微位移探测领域,装置包括:激光器、第一光电探测器、分光棱镜、第二光电探测器以及透镜;激光器发出激光,分解成两路光线,一路光线入射到第一光电探测器,监测激光器输出功率受到激光自混合干涉影响而产生的实时变化,另一路由透镜聚焦至待测物体表面;PZT驱动的待测物体作周期的往返运动并反射生成反射信号光,逆向分解为另外两路光线,其中一路反射信号光原路返回至激光器,引起激光输出功率实时变化,被第一光电探测器进行测量记录;另一路反射信号光被反射进入第二光电探测器中,由第二光电探测器进行探测记录。本发明中的上述方案能够实现微位移的精确探测。
本发明授权一种基于自混合干涉的双路微位移探测装置、方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于自混合干涉的双路微位移探测装置,其特征在于,所述探测装置包括: 激光器、第一光电探测器、分光棱镜、第二光电探测器以及透镜; 所述激光器发出激光,经所述分光棱镜被分解成两路光线,其中一路光线直接入射到所述第一光电探测器,所述第一光电探测器直接接受激光器发出的光,并监测激光器输出功率受到激光自混合干涉影响而产生的实时变化,另一路光线由所述透镜聚焦至待测物体表面,进行测试; 压电陶瓷PZT驱动的待测物体作周期的往返运动并反射生成反射信号光,所述反射信号光逆向经由所述分光棱镜分解为另外两路光线,其中一路反射信号光原路返回至所述激光器中,对激光器进行调制产生自混合干涉效应,引起激光输出功率实时变化,被所述第一光电探测器进行测量记录;另一路反射信号光被反射进入第二光电探测器中,由所述第二光电探测器进行探测记录。
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