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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底洗净装置及衬底洗净方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115513093B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210719627.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底洗净装置及衬底洗净方法是由筱原智之;中村一树;冈田吉文;髙桥拓马;筱原敬;冲田展彬;石井淳一设计研发完成，并于2022-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底洗净装置及衬底洗净方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底洗净装置及衬底洗净方法。通过一边使洗净器具接触由第1保持部保持的衬底的下表面中央区域，一边使洗净器具绕中心轴旋转，而将下表面中央区域洗净。使洗净器具接触通过第2保持部而旋转的衬底的下表面外侧区域，由此将下表面外侧区域洗净。以如下方式使设置着第2保持部及洗净器具的可动基座在水平面内移动，即，当在第1保持部与第2保持部之间交接衬底时，俯视下第1保持部的基准位置与第2保持部的中心轴一致，在对下表面中央区域进行洗净时，俯视下洗净器具与由第1保持部保持的衬底的下表面中央区域重叠，且洗净器具的中心轴和衬底的与中心不同的第1部分一致。

本发明授权衬底洗净装置及衬底洗净方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底洗净装置，具备： 第1保持部，具有基准位置，以衬底的中心位于所述基准位置的方式保持该衬底； 第2保持部，具有沿上下方向延伸的第1中心轴，一边保持所述衬底的下表面中央区域，一边使该衬底绕所述第1中心轴旋转； 洗净器具，具有沿所述上下方向延伸的第2中心轴，通过一边接触由所述第1保持部保持的所述衬底的所述下表面中央区域，一边绕所述第2中心轴旋转，而将所述下表面中央区域洗净，并且接触通过所述第2保持部而旋转的所述衬底的包围所述下表面中央区域的下表面外侧区域，由此将所述下表面外侧区域洗净；以及 可动基座，设置着所述第2保持部及所述洗净器具，且以如下方式在水平面内移动，即，当在所述第1保持部与所述第2保持部之间交接所述衬底时，俯视下所述第1保持部的所述基准位置与所述第2保持部的所述第1中心轴一致，并且当对所述下表面中央区域进行洗净时，所述俯视下所述洗净器具与由所述第1保持部保持的所述衬底的所述下表面中央区域重叠，且所述洗净器具的所述第2中心轴和所述衬底的与中心不同的第1部分一致；且 所述第2保持部与所述可动基座一起在水平面内移动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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