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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115472530B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210667080.0，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权用于处理基板的装置是由车铭硕;李相旼;郑镇优;尹堵铉设计研发完成，并于2022-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于处理基板的装置在说明书摘要公布了：本发明构思提供了一种基板处理装置。该基板处理装置包括：提供内部空间的腔室；流体供应单元，该流体供应单元配置为将处理流体供应至内部空间；流体排出单元，该流体排出单元配置为从内部空间排出处理流体，并且其中流体排出单元包括：与腔室连接的排出管线；压力调节构件，该压力调节构件安装在排出管线处并配置为将内部空间的压力保持为设定压力，并且其中流体供应单元包括：流体供应源；供给管线，该供应管线设置在流体供给源与腔室之间，并且其中，在供给管线或排出管线处安装有流量测量构件，该流量测量构件配置为测量在内部空间中流动的处理流体的每单位时间流量。

本发明授权用于处理基板的装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，所述基板处理装置包括： 腔室，所述腔室提供内部空间； 流体供应单元，所述流体供应单元配置为将处理流体供应至所述内部空间；以及 流体排出单元，所述流体排出单元配置为从所述内部空间排出所述处理流体，并且 其中，所述流体排出单元包括： 排出管线，所述排出管线连接至所述腔室；以及 压力调节构件，所述压力调节构件安装在所述排出管线处并配置为将所述内部空间的压力保持为设定压力，并且 其中，所述流体供应单元包括： 流体供应源；以及 供应管线，所述供应管线设置在所述流体供应源与所述腔室之间，并且 其中，在所述供应管线或所述排出管线处安装有流量测量构件，所述流量测量构件配置为测量在所述内部空间中流动的所述处理流体的每单位时间流量， 所述基板处理装置还包括控制器，所述控制器配置为控制所述流体供应单元和所述流体排出单元，并且 其中，所述控制器配置为控制所述流体供应单元和所述流体排出单元、以执行增压步骤和流动步骤，所述增压步骤用于通过将所述处理流体供应至所述内部空间来将所述内部空间的压力增压至所述设定压力，所述流动步骤用于在将所述处理流体供应至所述内部空间的情况下、通过所述流体排出单元从所述内部空间排出所述处理流体以在所述内部空间中产生所述处理流体的流动， 其中，所述控制部配置为控制所述流体供应单元和所述流体排出单元、以将所述内部空间的压力恒定地保持为所述流动步骤中的所述设定压力， 所述控制部配置为控制所述流体供应单元和所述流体排出单元、以将在所述内部空间内流动的所述处理流体的每单位时间流量恒定地保持为所述流动步骤中的设定流量， 所述控制器从所述流量测量构件接收测量的流量值并且通过所述测量的流量值之间的差异来检查所述处理流体是否从内部空间泄漏， 所述设定压力高于临界压力以在所述内部空间中将所述处理流体保持为超临界状态。

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