株式会社斯库林集团筱原智之获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115472528B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210659024.2，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底清洗装置是由筱原智之;冈田吉文;冲田展彬;筱原敬;石井淳一;中村一树;髙桥拓马设计研发完成，并于2022-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底清洗装置在说明书摘要公布了：本发明的衬底清洗装置包含衬底保持部、第1清洗件、第2清洗件及第3清洗件。衬底保持部以水平姿势保持圆形状的衬底。第1清洗件在俯视时，以通过衬底外缘的第1点的方式在衬底的上方进行扫描，由此清洗衬底的上表面。第2清洗件在俯视时，通过接触于衬底外缘的第2点来清洗衬底的外周端部。定义通过第1点与第2点的假想性第1直线、及通过衬底的中心且与第1直线平行的假想性第2直线。第3清洗件配置在衬底的下方且隔着第2直线而与第1清洗件及第2清洗件相反的区域，清洗衬底的下表面。
本发明授权衬底清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底清洗装置，具备： 衬底保持部，以水平姿势保持圆形状的衬底； 第1清洗件，在俯视时，以通过所述衬底外缘的第1点的方式在所述衬底的上方扫描，由此清洗所述衬底的上表面； 第2清洗件，在俯视时，通过接触于所述衬底外缘的第2点来清洗所述衬底的外周端部；以及 第3清洗件，清洗所述衬底的下表面；且 定义通过所述第1点与所述第2点的假想性第1直线、及通过所述衬底的中心且与所述第1直线平行的假想性第2直线， 所述第3清洗件配置在所述衬底的下方且隔着所述第2直线而与所述第1清洗件及所述第2清洗件相反的区域； 在俯视时，所述第2点位于与连接所述衬底的中心与所述第3清洗件的中心的直线上的点不同的点。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励