细美事有限公司吴明焕获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利处理基板的方法和装置以及温度控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115458436B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210645504.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权处理基板的方法和装置以及温度控制方法是由吴明焕;李成龙;徐同赫;尹荣云设计研发完成，并于2022-06-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理基板的方法和装置以及温度控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及处理基板的方法和装置以及温度控制方法。提供了一种处理基板的方法，该方法包括：执行对形成有膜的基板进行热处理的第一加热工艺，以及在执行第一加热工艺之后执行对基板进行热处理的第二加热工艺；收集操作，该收集操作收集在第一加热工艺中加热基板的第一加热板的温度数据；以及第一控制操作，该第一控制操作基于温度数据调节在第二加热工艺中加热基板的第二加热板的温度。
本发明授权处理基板的方法和装置以及温度控制方法在权利要求书中公布了：1.一种处理基板的方法，所述方法包括： 执行对形成有膜的所述基板进行热处理的第一加热工艺； 在执行所述第一加热工艺之后执行用光照射所述膜的曝光工艺； 在执行所述曝光工艺之后执行对所述基板进行热处理的第二加热工艺； 收集操作，所述收集操作收集在所述第一加热工艺中加热所述基板的第一加热板的温度数据； 生成操作，所述生成操作从所述温度数据生成用于控制在所述第二加热工艺中加热所述基板的第二加热板的温度的目标曲线； 第一控制操作，所述第一控制操作基于所述目标曲线调节在所述第二加热工艺中加热所述基板的所述第二加热板的所述温度；以及 第二控制操作，所述第二控制操作在所述第二加热工艺中测量所述第二加热板的温度，并且基于所测量的温度来反馈控制所述第二加热板的温度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人细美事有限公司，其通讯地址为：韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励