浙江星辉电子有限公司王福贞获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江星辉电子有限公司申请的专利一种自动互为阴阳极电弧源清洗装置及镀膜机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115341170B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210489445.5，技术领域涉及：C23C14/02；该发明授权一种自动互为阴阳极电弧源清洗装置及镀膜机是由王福贞;张保光;张曙光设计研发完成，并于2022-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自动互为阴阳极电弧源清洗装置及镀膜机在说明书摘要公布了：本发明提供了一种自动互为阴阳极电弧源清洗装置及镀膜机，涉及镀膜技术领域，所述自动互为阴阳极电弧源清洗装置包括自动切换输出电极电极性的电弧电源和两个阴极电弧源，所述自动切换输出电极电极性的电弧电源的两个输出电极分别连接两个所述阴极电弧源，所述自动切换输出电极电极性的电弧电源的负极和正极自动相互切换，两个所述阴极电弧源的功能在阴极功能和阳极功能之间自动转换，相继不断地产生电子流将氩气电离，利用氩离子轰击清洗工件，还能够自动清洗弧源靶面；所述镀膜机包括单室机、连续生产线镀膜机，镀膜机机体内在不同位置设置有所述自动互为阴阳极电弧源清洗装置，清洗工件过程自动进行，操作便捷可靠，清洗效率高效。
本发明授权一种自动互为阴阳极电弧源清洗装置及镀膜机在权利要求书中公布了：1.一种自动互为阴阳极电弧源清洗装置,其特征在于,包括自动切换输出电极电极性的电弧电源和两个阴极电弧源,其中: 所述自动切换输出电极电极性的电弧电源的两个输出电极分别连接两个所述阴极电弧源,所述自动切换输出电极电极性的电弧电源的负极和正极能自动相互切换,以使两个所述阴极电弧源在阴极功能和阳极功能之间自动相互转换;两个所述阴极电弧源的前面均设置有挡板;所述自动切换输出电极电极性的电弧电源转换器可以切换电弧电源输出电极的电极性，可以控制切换速度和两次切换的时间间隔； 自动切换输出电极电极性的电弧电源中转换器包括电源、控制器、继电器和接触器； 在清洗工件后不关闭自动切换输出电极电极性的电弧电源，同时开启磁控溅射靶和两个小弧源一起参与镀膜，两个小弧源既可以提高膜层的厚度，弧光电子流又可以产生辅助沉积作用，提供高沉积速率和金属离化率。
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