应用材料公司赵在龙获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利基板处理腔室中的处理套件的鞘与温度控制获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115244679B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180020041.5，技术领域涉及：H10P72/72；该发明授权基板处理腔室中的处理套件的鞘与温度控制是由赵在龙;R·丁德萨;J·罗杰斯;A·侯赛因设计研发完成，并于2021-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理腔室中的处理套件的鞘与温度控制在说明书摘要公布了：本文提供了基板支撑件的实施例。在一些实施例中，一种用于在基板处理腔室中使用的基板支撑件包括：陶瓷板，所述陶瓷板具有第一侧与第二侧，所述第一侧经配置以支撑基板，所述第二侧与所述第一侧相对，其中所述陶瓷板包含嵌入在所述陶瓷板中的电极；陶瓷环，所述陶瓷环围绕所述陶瓷板设置并具有第一侧和与所述第一侧相对的第二侧，其中所述陶瓷环包含吸附电极和嵌入在所述陶瓷环中的加热组件；以及冷却板，所述冷却板耦接到所述陶瓷板的所述第二侧和所述陶瓷环的所述第二侧，其中所述冷却板包含径向内部、径向外部以及设置在所述径向内部与所述径向外部之间的隔热器。
本发明授权基板处理腔室中的处理套件的鞘与温度控制在权利要求书中公布了：1.一种用于在基板处理腔室中使用的基板支撑件，包括： 陶瓷板，所述陶瓷板具有第一侧与第二侧，所述第一侧经配置以支撑基板，所述第二侧与所述第一侧相对，其中所述陶瓷板包含嵌入在所述陶瓷板中的电极； 陶瓷环，所述陶瓷环围绕所述陶瓷板设置并具有第一侧和与所述第一侧相对的第二侧，其中所述陶瓷环包含吸附电极和嵌入在所述陶瓷环中的加热组件；以及 冷却板，所述冷却板耦接到所述陶瓷板的所述第二侧和所述陶瓷环的所述第二侧，其中所述冷却板包含径向内部、径向外部以及设置在所述径向内部与所述径向外部之间的隔热器， 其中所述陶瓷环包括上内部凹口，其中所述上内部凹口包括O形环以在所述陶瓷环和所述陶瓷板之间提供密封，并且第二O形环在所述陶瓷板的径向外侧的位置处设置在所述陶瓷环和所述冷却板之间。
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