佳能株式会社板桥宏明获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利曝光装置、曝光方法以及物品的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115113487B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210244019.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光装置、曝光方法以及物品的制造方法是由板桥宏明设计研发完成，并于2022-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光装置、曝光方法以及物品的制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及曝光装置、曝光方法以及物品的制造方法。一种曝光装置，是用来自光源的光对原版进行照明，进行一边使基板在扫描方向上移动一边将所述原版的图案曝光到所述基板的扫描曝光的曝光装置，所述曝光装置以使通过第1曝光而曝光的区域与通过第2曝光而曝光的区域部分地重复的方式进行连结曝光，所述曝光装置具有：投影光学系统，将所述原版的图案投影到所述基板；遮光板，对所述第1曝光以及所述第2曝光中的至少一方中的曝光的光的一部分进行遮光；及多个调整部，对所述遮光板施加力，调整被该遮光板遮光的光量，所述多个调整部被配置成在未对所述遮光板施加力的状态下，相对于通过所述投影光学系统的光轴并沿着所述扫描方向的直线为非对称。
本发明授权曝光装置、曝光方法以及物品的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种曝光装置，是用来自光源的光对原版进行照明，进行一边使基板在扫描方向上移动一边将所述原版的图案曝光到所述基板的扫描曝光的曝光装置，所述曝光装置以使通过第1曝光而曝光的区域与通过第2曝光而曝光的区域部分地重复的方式进行连结曝光，所述曝光装置的特征在于，具有： 投影光学系统，将所述原版的图案投影到所述基板； 遮光板，对所述第1曝光以及所述第2曝光中的至少一方的曝光的光的一部分进行遮光；以及 多个调整部，对所述遮光板施加力，调整被该遮光板遮光的光量， 所述多个调整部被配置成在未对所述遮光板施加力的状态下，相对于通过所述投影光学系统的光轴并沿着所述扫描方向的直线为非对称。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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