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深圳市深科达智能装备股份有限公司张原获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市深科达智能装备股份有限公司申请的专利晶圆盒、晶圆搬运设备及控制方法、电气设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114975180B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210573477.3,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权晶圆盒、晶圆搬运设备及控制方法、电气设备及存储介质是由张原;杨青峰;潘国瑞;崔智敏;韩宁宁设计研发完成,并于2022-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。

晶圆盒、晶圆搬运设备及控制方法、电气设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请实施例公开一种晶圆盒、晶圆搬运设备及控制方法、电气设备及存储介质,所述晶圆盒包括承载件和多个压致发光或变色器件,所述承载件包括容纳空间和位于所述容纳空间一侧的取放口,所述容纳空间用于收纳多片晶圆,所述承载件包括基板以及连接所述基板靠近所述容纳空间的一侧的多个承载板;每个所述压致发光或变色器件对应一个所述承载板设置,且至少部分设置于所述承载板上用于承载所述晶圆,并在承受到所述晶圆的压力时从第一状态改变为第二状态,其中,所述第一状态和所述第二状态分别为不发光状态和发光状态;或所述第一状态和所述第二状态分别为发出第一颜色光的第一发光状态和发出第二颜色光的第二发光状态。

本发明授权晶圆盒、晶圆搬运设备及控制方法、电气设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒,其特征在于,所述晶圆盒包括: 承载件,包括容纳空间和位于所述容纳空间一侧的取放口,所述容纳空间用于收纳多片晶圆,所述承载件包括基板以及连接所述基板靠近所述容纳空间的一侧的多个承载板;以及 多个压致发光或变色器件,每个所述压致发光或变色器件对应一个所述承载板设置,所述压致发光或变色器件包括设置在所述承载板上用于承载所述晶圆的承载薄膜,所述承载薄膜凸起于所述承载板靠近所述晶圆的表面,以用于承载所述晶圆,并在承受到所述晶圆的压力时从第一状态改变为第二状态, 其中,所述第一状态和所述第二状态分别为不发光状态和发光状态;或所述第一状态和所述第二状态分别为第一颜色状态和第二颜色状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市深科达智能装备股份有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号A栋、B栋第一至三层、C栋第一层、D栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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