佳能株式会社中村阳子获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利散热单元、曝光装置及物品的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114859664B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210109628.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权散热单元、曝光装置及物品的制造方法是由中村阳子;下井泰晃设计研发完成，并于2022-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本散热单元、曝光装置及物品的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供散热单元、曝光装置及物品的制造方法。该散热单元具有：散热构件，使热散出；以及传热构件，使通过吸收来自光源的光而产生的热传导到所述散热构件，在所述传热构件的所述光源所在侧的面配置有包含熔点比所述传热构件的材料高的材料的膜。
本发明授权散热单元、曝光装置及物品的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种曝光装置，将原版的图案的像曝光于基板，其特征在于， 该曝光装置具有： 光学元件，将从光源射出的光分离为曝光光和非曝光光； 散热构件； 传热构件，使通过照射由所述光学元件分离出的所述非曝光光而产生的热传导到所述散热构件；以及 投影光学系统，将由所述光学元件分离出的所述曝光光投影于所述基板， 在所述传热构件的照射所述非曝光光的照射面配置有包含熔点比所述传热构件的材料高的材料的膜。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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