日本碍子株式会社山寺乔纮获国家专利权
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龙图腾网获悉日本碍子株式会社申请的专利压电性材料基板与支撑基板的接合体获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114731145B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080005715.X,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权压电性材料基板与支撑基板的接合体是由山寺乔纮;中山纱希;堀裕二设计研发完成,并于2020-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本压电性材料基板与支撑基板的接合体在说明书摘要公布了:本发明提供能够抑制无法通过对接合体的压电性材料基板或支撑基板的接合面的表面形状进行控制来加以抑制的寄生波的结构。接合体具备:支撑基板;压电性材料基板,其由选自由铌酸锂、钽酸锂以及铌酸锂-钽酸锂构成的组中的材质形成;以及接合层,其将支撑基板和压电性材料基板接合,并与压电性材料基板的主面接触。在利用椭圆偏振光谱法对所述支撑基板的接合面和所述压电性材料基板的接合面中的至少一者进行测定时,此时将反射光的p偏振光与s偏振光的相位差设为Δ时,在波长400nm至760nm之间的区域,所述相位差Δ的最大值与最小值之差为70°以下。
本发明授权压电性材料基板与支撑基板的接合体在权利要求书中公布了:1.一种接合体,其具备: 支撑基板; 压电性材料基板,该压电性材料基板由选自由铌酸锂、钽酸锂以及铌酸锂-钽酸锂构成的组中的材质形成;以及 接合层,该接合层将所述支撑基板和所述压电性材料基板接合, 所述接合体的特征在于, 在利用椭圆偏振光谱法对所述支撑基板的接合面和所述压电性材料基板的接合面中的至少一者进行测定时,当将反射光的p偏振光与s偏振光的相位差设为Δ时,在波长400nm至760nm之间的区域,所述相位差Δ的最大值与最小值之差为70°以下,使得寄生波的抑制效果显著提高, 还具备表面变质区域,所述表面变质区域与所述支撑基板的接合面和所述压电性材料基板的接合面中的至少一者相邻,配置为在测定所述相位差Δ时被实施所述椭圆偏振光谱法。
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