细美事有限公司李茂贤获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利处理液供应装置以及处理液供应装置的固体去除方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114724975B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111515536.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权处理液供应装置以及处理液供应装置的固体去除方法是由李茂贤设计研发完成，并于2021-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理液供应装置以及处理液供应装置的固体去除方法在说明书摘要公布了：本发明是处理液供应装置以及处理液供应装置的固体去除方法，公开一种具有冲洗功能的处理液供应装置以及在处理液供应装置中去除固态二氧化硅等固体的方法，其中，所述冲洗功能是指去除在向基板处理装置供应处理液并回收来再生的处理液供应装置中随着供应处理液而析出的二氧化硅等固体的功能。
本发明授权处理液供应装置以及处理液供应装置的固体去除方法在权利要求书中公布了：1.一种处理液供应装置，向基板处理装置供应处理液，其特征在于，所述处理液供应装置包括： 冲洗供应构件，包括供应冲洗流体的冲洗流体供应部、将冲洗流体向处理液供应装置的已设定的固体析出区域供应的冲洗流体供应管线以及将冲洗流体选择性地从所述冲洗流体供应部向所述冲洗流体供应管线供应的冲洗流体供应阀； 冲洗调节构件，引导对所述固体析出区域通过冲洗流体的流动执行冲洗； 冲洗排放构件，包括从所述固体析出区域向外部排放处理液或者冲洗流体的排放管线；以及 控制单元，控制对所述固体析出区域执行冲洗， 所述控制单元关闭对所述固体析出区域的处理液供应并开启所述排放管线来排放残留于所述固体析出区域的处理液，并选择性地执行所述冲洗流体供应管线的开启和关闭以及所述排放管线的开启和关闭而以氟化氢、去离子水及惰性气体的依次顺序或者去离子水及惰性气体的依次顺序对所述固体析出区域执行冲洗， 所述冲洗排放构件还包括： 多个所述排放管线，排放残留在各个所述固体析出区域中的处理液或者执行冲洗后的冲洗流体； 一个以上分配箱，将从多个所述排放管线中被选择的多个排放管线排放的处理液或者冲洗流体合并且通过一个排放管线进行排放；以及 缓冲罐，从一个以上所述分配箱接收废弃液并储存。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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