长鑫存储技术有限公司吕康获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利测试机台及测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114646781B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011519537.0,技术领域涉及:G01R1/04;该发明授权测试机台及测试方法是由吕康;熊阳;胡健设计研发完成,并于2020-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本测试机台及测试方法在说明书摘要公布了:本发明实施例提供一种测试机台及测试方法,测试机台包括:多组焊垫组和多个源测量单元,每一所述焊垫组具有一应力焊垫,所述应力焊垫用于连接待测元件,所述源测量单元用于通过所述应力焊垫向所述待测元件发送输入信号并测量所述待测元件的输出信号,以获取所述待测元件的性能参数;其中,至少两组所述焊垫组的应力焊垫可同时与对应的所述源测量单元连接。本发明实施例有利于提高测试效率。
本发明授权测试机台及测试方法在权利要求书中公布了:1.一种测试机台,其特征在于,包括: 多组焊垫组和多个源测量单元,每一所述焊垫组具有一应力焊垫,所述应力焊垫用于连接待测元件,所述源测量单元通过管脚探针与所述应力焊垫连接,并向所述待测元件发送输入信号并测量所述待测元件的输出信号,以获取所述待测元件的性能参数;其中,至少两组所述焊垫组的应力焊垫可同时与对应的所述源测量单元连接; 所述多组焊垫组中包含第一焊垫组和第二焊垫组,所述第一焊垫组的应力焊垫和所述第二焊垫组的应力焊垫可同时与对应的所述源测量单元连接,所述第一焊垫组具有第一接地焊垫,所述第二焊垫组具有第二接地焊垫,所述第一接地焊垫和所述第二接地焊垫用于连接所述待测元件并接地; 所述多组焊垫组还包括第四焊垫组,与所述第四焊垫组的应力焊垫连接的待测元件可与所述第一接地焊垫连接,所述第四焊垫组的应力焊垫和所述第二焊垫组的应力焊垫可同时与对应的所述源测量单元连接; 至少两组所述焊垫组的应力焊垫的形状不同。
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