佳能株式会社吉冈泰智获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利光刻装置、标记形成方法以及图案形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113960898B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110798112.6，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权光刻装置、标记形成方法以及图案形成方法是由吉冈泰智;川端宣幸;池田研二;安斋干人;铃木佑;北川纯设计研发完成，并于2021-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻装置、标记形成方法以及图案形成方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光刻装置、标记形成方法以及图案形成方法。抑制基板的图案形成中的生产效率降低。一种在基板上形成图案的光刻装置，具有：标记形成部，将照射光照射到基板，形成标记；控制部，控制标记形成部；以及标记测量部，测量标记的位置，控制部根据与由标记形成部形成的标记的形成位置有关的信息，决定在形成第1标记时的从标记形成部照射到基板的照射光和基板的相对位置以及在测量第1标记时的标记测量部和基板的相对位置中的至少一方。
本发明授权光刻装置、标记形成方法以及图案形成方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻装置，其特征在于，在基板上的层中形成第1潜像图案，并且在所述层的与形成所述第1潜像图案的区域不同的区域中形成第2潜像图案之前形成所述第1潜像图案，所述光刻装置具有： 标记形成部，将照射光照射到所述基板，形成用于决定所述第1潜像图案和所述第2潜像图案的相对位置关系的位置对准用的标记，所述标记包括第1标记和第2标记； 控制部，控制所述标记形成部；以及 标记测量部，测量所述标记的位置， 所述控制部根据利用所述标记测量部测量在形成所述第1标记以前形成的所述第2标记的位置而得到的信息，决定在形成所述第1标记时的从所述标记形成部照射到所述基板的照射光和所述基板的相对位置以及在测量所述第1标记时的所述标记测量部和所述基板的相对位置中的至少一方。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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