四川矽芯微科技有限公司李晶获国家专利权
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龙图腾网获悉四川矽芯微科技有限公司申请的专利一种晶圆加工用吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224069083U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520666041.8，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种晶圆加工用吸附装置是由李晶;胥桐;张禄平设计研发完成，并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加工用吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆吸附技术领域，公开了一种晶圆加工用吸附装置，包括安装板和吸附盘，吸附盘通过连杆固定在安装板下方，吸附盘的底部外圈均匀安装有多个拉力传感器，拉力传感器的测量端上安装有真空吸盘，位于安装板的底部两侧对称的安装有电滑轨，电滑轨的滑块下方竖向固定有竖杆，竖杆朝向吸附盘的侧边下方固定有防坠块，且防坠块的侧表面开设有卡槽。本实用新型技术方案通过在每个真空吸盘上方的吸附盘底部均安装有拉力传感器，并设置有可被电滑轨带动移动的防坠块，在存在真空吸盘未吸附紧时，存在真空吸盘受力不均的情况而被拉力传感器检测到，可以自动控制电滑轨带动防坠块通过卡槽卡在晶圆的侧边，避免晶圆坠落造成的损失及清理问题。
本实用新型一种晶圆加工用吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工用吸附装置，包括安装板1和吸附盘2，其特征在于：所述吸附盘2为圆形平行置于安装板1中间位置的下方，吸附盘2通过连杆11固定在安装板1下方； 所述吸附盘2的底部外圈均匀安装有多个拉力传感器21，拉力传感器21的测量端上安装有真空吸盘22，位于安装板1的底部两侧对称的安装有电滑轨3，电滑轨3的滑块下方竖向固定有竖杆31，竖杆31朝向吸附盘2的侧边下方固定有防坠块4，且防坠块4的侧表面开设有卡槽41。
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