无锡亘芯悦科技有限公司陈艳威获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡亘芯悦科技有限公司申请的专利一种垂向运动装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224069080U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520640496.2，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种垂向运动装置及半导体设备是由陈艳威;黄俊芃设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种垂向运动装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种垂向运动装置及半导体设备，包括抬升机构，抬升机构设置有底板、第一楔块和第二楔块，第一楔块与底板滑动连接，第一楔块与第二楔块滑动连接；第一楔块包括第一面，第一面倾斜设置，第二楔块设置有第二面，第二面与第一面平行；驱动机构安装在底板上，并与第一楔块驱动连接。该装置结构垂向扁平紧凑，采用两个楔块配合，到位稳定，能够以较小的力带动负载，并使该装置在垂向空间内结构高度最小化，可直接叠加微动台或者晶圆顶升台，实现宏微结合的运动，便于模块化集成。通过设置测量机构，能够准确测量第二楔块的位置，并将测量结果反馈给驱动机构，驱动机构根据测量结果进行开闭，实现闭环控制，保证抬升机构的运动精度。
本实用新型一种垂向运动装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种垂向运动装置，其特征在于，包括： 抬升机构1，所述抬升机构1设置有底板11、第一楔块13和第二楔块15，所述第一楔块13与所述底板11滑动连接，所述第一楔块13与所述第二楔块15滑动连接； 所述第一楔块13包括第一面1301，所述第一面1301倾斜设置，所述第二楔块15设置有第二面1502，所述第二面1502与所述第一面1301平行； 驱动机构5，安装在所述底板11上，并与所述第一楔块13驱动连接。
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