上海徐汇科盛德半导体有限公司姜巍获国家专利权
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龙图腾网获悉上海徐汇科盛德半导体有限公司申请的专利一种去除掩膜版静电的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224068845U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520380221.X，技术领域涉及：H05F3/02；该实用新型一种去除掩膜版静电的装置是由姜巍;倪慧彬;胡平设计研发完成，并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种去除掩膜版静电的装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种去除掩膜版静电的装置，包括载台、多个支撑部和多个可伸缩的导电部，各支撑部设置于载台上，用于支撑倒扣在载台上的待处理掩膜版；导电部设置于载台上，导电部的一端与掩膜版上的非关键图形区域抵接并与关键图形区域相连通，导电部的另一端接地。本实用新型能够有效地将掩膜版关键图形区域表面累积的静电通过导电部转移至地面，以实现快速彻底地去除静电。
本实用新型一种去除掩膜版静电的装置在权利要求书中公布了：1.一种去除掩膜版静电的装置，其特征在于，包括载台100、多个支撑部200和多个导电部300，各所述支撑部200设置于载台100上，用于支撑倒扣在载台上的待处理掩膜版400；所述导电部300设置于所述载台100上，所述导电部300的一端与掩膜版400上的非关键图形区域抵接，非关键图形区域与关键图形区域相连通，所述导电部300的另一端接地。
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