宝虹科技股份有限公司吕理宏获国家专利权
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龙图腾网获悉宝虹科技股份有限公司申请的专利用于原子层沉积设备的电连接组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224068024U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520207044.5，技术领域涉及：H01R13/648；该实用新型用于原子层沉积设备的电连接组件是由吕理宏;游克强;余兴政;庄文星设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于原子层沉积设备的电连接组件在说明书摘要公布了：一种用于原子层沉积设备的电连接组件，包括一导电模块以及一射频屏蔽元件。该导电模块用于一电力源与该原子层沉积设备的一加热器之间的电性连接，该导电模块包括至少一电馈通元件，该电馈通元件沿着一轴向延伸且分别包括一馈入端与一输出端，该馈入端与该输出端之间形成一电传导路径。该射频屏蔽元件包括一套管。该套管包括一本体及一中空部，该中空部贯穿于该本体且包括一第一开口与一第二开口，该电馈通元件至少部分地设置于该套管的该中空部之中。该电馈通元件与该射频屏蔽元件的该套管的一内壁相隔地设置。
本实用新型用于原子层沉积设备的电连接组件在权利要求书中公布了：1.一种用于原子层沉积设备的电连接组件，其特征在于，包括： 一导电模块，用于一电力源与该原子层沉积设备的一加热器之间的电性连接，该导电模块包括至少一电馈通元件，该电馈通元件沿着一轴向延伸且分别包括一馈入端与一输出端，该馈入端与该输出端之间形成一电传导路径；以及 一射频屏蔽元件，包括一套管，该套管包括一本体及一中空部，该中空部贯穿于该本体且包括一第一开口与一第二开口，该电馈通元件至少部分地设置于该套管的该中空部之中，其中，该电馈通元件与该射频屏蔽元件的该套管的一内壁相隔地设置，供该电传导路径被该射频屏蔽元件的该套管屏蔽。
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