扬州国润半导体科技有限公司徐宏进获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州国润半导体科技有限公司申请的专利一种光刻机的晶圆平边预定位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224067133U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520856393.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机的晶圆平边预定位装置是由徐宏进;谢明设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机的晶圆平边预定位装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光刻机技术领域，且公开了一种光刻机的晶圆平边预定位装置，该光刻机的晶圆平边预定位装置，包括工作台，所述工作台上表面固定连接有安装架，所述工作台上表面设置有旋转装置，所述安装架底部固定连接有光纤传感器，所述旋转装置上表面设置有晶圆，所述工作台上表面设置有定位装置，为了使晶圆受到过大的压力而受损，将晶圆放置在旋转装置上表面处，让晶圆外表面与活动辊外表面相接触，且转动螺纹杆让L形活动件向下移动，进而让活动辊外表面设置的弧形外表面与晶圆外表面靠近顶部的边角处相接触，从而可以使晶圆可以更好的与旋转装置贴合，并且这样让晶圆在进行放置在旋转装置上表面处的时候可以进行预定位。
本实用新型一种光刻机的晶圆平边预定位装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻机的晶圆平边预定位装置，包括工作台1，所述工作台1上表面固定连接有安装架2，所述工作台1上表面设置有旋转装置4，所述安装架2底部固定连接有光纤传感器3，其特征在于：所述工作台1上表面设置有定位装置6，所述定位装置6包括有： 活动槽601，所述活动槽601开设在工作台1上表面处，所述活动槽601内部滑动连接有活动块602，所述活动块602上表面固定连接有固定件603； 固定块604，所述固定块604固定连接在固定件603侧部，所述固定块604上表面设置有螺栓605，所述固定件603内壁底部转动连接有螺纹杆606，所述螺纹杆606外表面螺纹连接有活动件607，所述活动件607底部转动连接有活动辊608。
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