盖泽华矽半导体科技(苏州)有限公司周益初获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉盖泽华矽半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种适配多种规格料盒的晶圆膜厚检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224066102U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520958484.4，技术领域涉及：G01B11/06；该实用新型一种适配多种规格料盒的晶圆膜厚检测装置是由周益初;卢利军;任杰;周亭成;乔赛赛;陈奇设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适配多种规格料盒的晶圆膜厚检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆检测装置技术领域，具体涉及一种适配多种规格料盒的晶圆膜厚检测装置，包括检测装置主体，所述检测装置主体的右侧通过螺栓安装连接有兼容机构，所述兼容机构包括有自制料盒，所述自制料盒通过螺栓安装固定在检测装置主体右侧的外壁，所述检测装置主体的右侧通过螺栓固定连接有放料机构，所述检测装置主体的内部通过螺栓机械固定有stage检测模块。本实用新型通过兼容机构内部零件和放料机构内部零件之间的相互切换，便可使携带不同规格尺寸晶圆的料盒安装固定在检测装置主体外壁一侧，从而便于检测装置主体满足不同规格尺寸晶圆的检测操作，同时通过stage检测模块，便于提高检测装置主体对晶圆的检测效率。
本实用新型一种适配多种规格料盒的晶圆膜厚检测装置在权利要求书中公布了：1.一种适配多种规格料盒的晶圆膜厚检测装置，其特征在于：包括检测装置主体1，所述检测装置主体1的右侧通过螺栓安装连接有兼容机构2，所述检测装置主体1的右侧通过螺栓固定连接有放料机构3，所述检测装置主体1的内部通过螺栓机械固定有stage检测模块4； 所述兼容机构2包括有自制料盒201，所述自制料盒201通过螺栓安装固定在检测装置主体1右侧的外壁，所述自制料盒201的顶端通过铰链转动连接有料盒盖202，所述自制料盒201与检测装置主体1之间螺栓固定有固定支架203，且位于检测装置主体1的内部，所述固定支架203的顶端机械固定有一号放置台204，所述一号放置台204的内腔机械连接有二号放置台205，且位于固定支架203的顶端。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盖泽华矽半导体科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市高新区竹园路209号4号楼20层2002室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励