上海高笙集成电路设备有限公司崔汉宽获国家专利权
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龙图腾网获悉上海高笙集成电路设备有限公司申请的专利一种氮气加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224065693U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520702296.5，技术领域涉及：F24H9/1863；该实用新型一种氮气加热装置是由崔汉宽;程勇设计研发完成，并于2025-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氮气加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种氮气加热装置，包括：中间管体、内部管体、加热管和进气接口，中间管体套装在内部管体外侧且相对内部管体位置固定，中间管体和内部管体之间形成有第二腔体，进气接口与第二腔体相连通，加热管位于第二腔体内部，第二腔体通过第三通道与内部管体内部相连通。本实用新型使用加热管对氮气进行加热，加热后的氮气对制程废气和流经的管道内壁加热，在较高的温度下制程废气沉积在管道内壁的数量较少，进而减缓了管道内壁的拥堵，延长了管路的维护周期；使用中间管体外壁的余热在第一腔体中加热少部分氮气，利用残余的热量，进而减少了加热管消耗；第一腔体中流动的氮气带走了大部分余热，降低了外部管体的温度，避免工作人员烫伤。
本实用新型一种氮气加热装置在权利要求书中公布了：1.一种氮气加热装置，其特征在于，包括：中间管体2、内部管体3、加热管4和进气接口11，所述中间管体2套装在内部管体3外侧且相对内部管体3位置固定，所述中间管体2和内部管体3之间形成有第二腔体20，所述进气接口11与第二腔体20相连通，所述加热管4位于第二腔体20内部，所述第二腔体20通过第三通道30与内部管体3内部相连通。
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