厦门天三半导体有限公司龙博腾获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门天三半导体有限公司申请的专利一种碳化硅生长炉的多通道冷却装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224062953U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520810857.3,技术领域涉及:C30B23/00;该实用新型一种碳化硅生长炉的多通道冷却装置是由龙博腾;许耀迪设计研发完成,并于2025-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅生长炉的多通道冷却装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种碳化硅生长炉的多通道冷却装置,属于多通道冷却装置领域,其包括机架,其上可拆卸的安装有一泵体,在该泵体上可拆卸的安装有一循环管,在该机架上依次的连接有一制冷器、保安过滤器、第一降温筒及第二降温筒。本实用新型的碳化硅生长炉的多通道冷却装置,通过开启泵体,能够将水循环框体及多组通道管内的冷却液进行循环,在冷却液经过制冷器内时能够进行第一次降温,在当冷却液进入至保安过滤器内时能够进行过滤作业,在当冷却液进入至第一降温筒及第二降温筒内时能够进行二次的降温作业,在将水循环框体从生长炉上罩住,即可完成对生长炉的快速冷却作业。
本实用新型一种碳化硅生长炉的多通道冷却装置在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅生长炉的多通道冷却装置,其特征在于,其包括 机架1,其上可拆卸的安装有一泵体11,在该泵体11上可拆卸的安装有一循环管12,在该机架1上依次的连接有一制冷器13、保安过滤器14、第一降温筒15及第二降温筒16,且该制冷器13、保安过滤器14、第一降温筒15及第二降温筒16均与该循环管12之间相互连通; 水循环框体2,位于该机架1的一侧,且该水循环框体2分别与该循环管12的首尾两端相互连通; 多组通道管3,均可拆卸的安装于该水循环框体2上,且多组该通道管3均与该水循环框体2之间相互连通,多组该通道管3及一水循环框体2之间合围成一供生长炉穿过的冷却区域; 束缚构件4,其可移除的布设于多组该通道管3上,该束缚构件4用于对多组该通道管3进行束缚作业以使得多组该通道管3能够与待冷却生长炉相互贴合。
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