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维得科技(杭州)有限公司汪慧敏获国家专利权

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龙图腾网获悉维得科技(杭州)有限公司申请的专利一种半导体晶圆电镀槽获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224062937U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520735238.2,技术领域涉及:C25D17/00;该实用新型一种半导体晶圆电镀槽是由汪慧敏;余林华;卢洪洋设计研发完成,并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体晶圆电镀槽在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种半导体晶圆电镀槽,涉及电镀槽技术领域,包括:电镀槽本体,所述电镀槽本体内腔一端的内侧固定连接有隔板,所述电镀槽本体内腔的一端开设有导流槽一,所述电镀槽本体内腔的另一端开设有导流槽二。本实用新型,向调配槽的内腔加去离子水,通过外部控制器启动电机,向调配槽加入金属盐和其他添加剂,金属盐和其它添加剂溶解,通过外部控制器启动泵抽入电镀槽,这样设计避免直接将金属盐倒入电镀液导致沉淀影响电镀效果;转动内螺纹盖,取下内螺纹盖和垫片,从外螺纹管的内腔抽取出过滤管,然后对过滤管表面进行清理,这样设计便于对阻拦不溶于电镀液的物质的过滤管进行清理,防止影响此电镀槽的正常使用。

本实用新型一种半导体晶圆电镀槽在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆电镀槽,其特征在于,包括:电镀槽本体1,所述电镀槽本体1内腔一端的内侧固定连接有隔板101,所述电镀槽本体1内腔的一端开设有导流槽一102,所述电镀槽本体1内腔的另一端开设有导流槽二105,所述电镀槽本体1内腔另一端的底部开设有T型槽108,所述T型槽108与导流槽二105的内腔贯通,所述T型槽108的内腔固定连接有外螺纹管109,所述外螺纹管109与导流槽二105的内腔贯通,所述隔板101一侧的顶部和电镀槽本体1内腔的一端设置有搅拌组件2,所述导流槽二105内腔的表面设置有便捷清理过滤组件3。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人维得科技(杭州)有限公司,其通讯地址为:310000 浙江省杭州市滨江区长河街道江二路57号1幢A区705室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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