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龙图腾网获悉苏州纳印光电科技有限公司申请的专利一种气体喷头及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224062889U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520720856.X，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种气体喷头及镀膜设备是由孙卓同;马瑞设计研发完成，并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气体喷头及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开一种气体喷头及镀膜设备。其中气体喷头设置有多个气体通道，第一气体通道用于流通加工气体；第二气体通道用于流通氧化剂；第三气体通道用于流通惰性气体；气体喷头还设置有第一分流通道和第二分流通道，第一分流通道设置有一个第一进气段和至少两个第一出气段，至少两个第一出气段分别连通至少两个第二气体通道的进气端，第二分流通道设置有一个第二进气段和多个第二出气段，第二出气段与第三气体通道一一对应，多个第二出气段分别连通多个第三气体通道的进气端。减少了连通于供气源的气体管路的数量，简化气路结构，减少了气体输送损耗，确保氧化剂和加工气体的精确输送，保证薄膜厚度均匀。

本实用新型一种气体喷头及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种气体喷头，其特征在于，所述气体喷头设置有多个气体通道，多个所述气体通道包括第一气体通道1、至少两个第二气体通道2和多个第三气体通道3， 所述第一气体通道1用于流通加工气体； 所述第二气体通道2用于流通氧化剂，至少两个所述第二气体通道2位于所述第一气体通道1沿第一方向的两侧； 第三气体通道3用于流通惰性气体，所述第二气体通道2和所述第一气体通道1之间以及所述第二气体通道2背离所述第一气体通道1一侧均设置有所述第三气体通道3； 所述气体喷头还设置有第一分流通道4和第二分流通道5，所述第一分流通道4设置有一个第一进气段41和至少两个第一出气段42，所述第一出气段42与所述第二气体通道2一一对应，至少两个所述第一出气段42分别连通至少两个所述第二气体通道2的进气端； 所述第二分流通道5设置有一个第二进气段53和多个第二出气段55，所述第二出气段55与所述第三气体通道3一一对应，多个所述第二出气段55分别连通多个所述第三气体通道3的进气端。

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