无锡博达新能科技有限公司李佳龙获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡博达新能科技有限公司申请的专利防回弹的ALD铝舟装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224062888U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520593109.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型防回弹的ALD铝舟装置是由李佳龙;王琨;邓健设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本防回弹的ALD铝舟装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种防回弹的ALD铝舟装置，所述铝舟装置包括：两侧板，两所述侧板之沿第一方向平行且间隔地设置；至少一个齿杆，沿第二方向设于所述两所述侧板之间；以及弹簧机构，设于两个所述侧板中的一个，所述弹簧机构连接至少一个所述齿杆的一端，所述齿杆沿所述第二方向朝向所述弹簧机构移动时，所述弹簧机构用于向所述齿杆施加与所述第二方向平行且相反的弹性力。本申请能够解决颗粒物卡住插销问题，减少不良产品，提高产品良率。取消传统插销的独立锁止单元，避免了插销与侧板孔壁间存在微米级间隙使得薄膜剥落形成颗粒物卡入间隙，避免了齿杆的后续运动受阻，齿杆往复运动时，气流扰动可主动排出部分沉积物。
本实用新型防回弹的ALD铝舟装置在权利要求书中公布了：1.一种防回弹的ALD铝舟装置，其特征在于，所述铝舟装置包括： 两侧板，两所述侧板之沿第一方向平行且间隔地设置； 至少一个齿杆，沿第二方向设于所述两所述侧板之间，所述齿杆围成用于装载硅片的放置腔，所述齿杆上设有多个放置槽，放置腔内间隔设置有至少一个硅片，每个所述硅片对应于一个所述放置槽；所述第二方向与所述第一方向垂直；至少一个所述齿杆活动地连接所述侧板；以及 弹簧机构，设于两个所述侧板中的一个，所述弹簧机构连接至少一个所述齿杆的一端，所述齿杆沿所述第二方向朝向所述弹簧机构移动时，所述弹簧机构用于向所述齿杆施加与所述第二方向平行且相反的弹性力。
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