金耀真空设备(中山)有限公司朱世元获国家专利权
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龙图腾网获悉金耀真空设备(中山)有限公司申请的专利一种高稳定性旋转阴极端头获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224062880U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520658653.2，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种高稳定性旋转阴极端头是由朱世元;潘朝刚;吴桂桃设计研发完成，并于2025-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高稳定性旋转阴极端头在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种高稳定性旋转阴极端头，包括有机座，机座上连接有主轴，机座上转动连接有空心轴，空心轴套设于主轴外侧并能够相对主轴转动，空心轴上部与机座之间设有环绕空心轴的上密封组件，空心轴下部与机座之间设有环绕空心轴的下密封组件，上密封组件包括有上密封座、布置在上密封座上并且沿上下分布的第一密封环和第二密封环，第一密封环和第二密封环之间留有第一密封间隙，上密封座上设有与第一密封间隙连通的第一连接通道，机座上设有与第一连接通道连通并用于检测气压的真空检测通道，本实用新型目的是克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、稳定耐用、更换便捷的高稳定性旋转阴极端头。
本实用新型一种高稳定性旋转阴极端头在权利要求书中公布了：1.一种高稳定性旋转阴极端头，包括有机座1，所述的机座1上连接有主轴11，所述的机座1上转动连接有空心轴12，所述的空心轴12套设于主轴11外侧并能够相对主轴11转动，所述的空心轴12上部与机座1之间设有环绕空心轴12的上密封组件2，所述的空心轴12下部与机座1之间设有环绕空心轴12的下密封组件3，其特征在于：所述的上密封组件2包括有上密封座21、布置在上密封座21上并且沿上下分布的第一密封环22和第二密封环23，第一密封环22和第二密封环23之间留有第一密封间隙200，所述的上密封座21上设有与第一密封间隙200连通的第一连接通道210，所述的机座1上设有与第一连接通道210连通并用于检测气压的真空检测通道101。
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