芜湖长信科技股份有限公司陈浩浩获国家专利权
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龙图腾网获悉芜湖长信科技股份有限公司申请的专利一种新型磁控溅射改善绕膜冶具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224062879U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520624982.5,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种新型磁控溅射改善绕膜冶具是由陈浩浩;余伟平;郑建军;唐小非;钟素文;余志辉设计研发完成,并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型磁控溅射改善绕膜冶具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种新型磁控溅射改善绕膜冶具,所述基片架1上设有安装杆2,所述安装杆2上设有上夹具3和下夹具4,所述上夹具3和所述下夹具4均为双槽式夹具结构,所述上夹具3分为上壳31、连接板32和压扣33,所述下夹具4分为下壳41,所述下壳41上设有支撑槽体42,在上下双面夹具的设计完成下,用一片挡板放置在靠里一侧,正常产品放置在靠外一侧;通过两片玻璃背靠背的方式并减少玻璃之间间距;可以让原本溅射至产品背面出来的靶材原子被背面挡板进行阻挡,规避了绕膜导致的功能不良现象,该治具拆卸方便,使用结束后可快速拆装转型。
本实用新型一种新型磁控溅射改善绕膜冶具在权利要求书中公布了:1.一种新型磁控溅射改善绕膜冶具,包括基片架1,所述基片架1上设有安装杆2,其特征在于:所述安装杆2上设有上夹具3和下夹具4,所述上夹具3和所述下夹具4均为双槽式夹具结构。
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