镇江市德利克真空设备科技有限公司匡国庆获国家专利权
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龙图腾网获悉镇江市德利克真空设备科技有限公司申请的专利一种防刮擦磁控溅射靶芯获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224062878U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520586688.X，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种防刮擦磁控溅射靶芯是由匡国庆设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防刮擦磁控溅射靶芯在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种防刮擦磁控溅射靶芯，安装于柱形靶筒内部，其特征在于，包括磁棒组件，在所述磁棒组件两侧固定安装有水室，通过所述水室中循环流动的冷却介质对所述磁棒组件进行冷却；所述磁棒组件外侧还设有多个防刮擦块，所述磁棒组件的两侧均布设有所述防刮擦块，且所述防刮擦块凸出所述水室的外缘；所述防刮擦块为柔性材质，使得所述磁棒组件沿中轴线安装于所述靶筒内部时，所述防刮擦块与所述靶筒的内壁接触，避免对其造成损伤。该靶芯在原有的磁棒组件和水室上增设柔性的防刮擦块，并且保证防刮擦块凸出水室的外缘，当磁棒组件沿中轴线与靶筒反复拆卸安装时，使得防刮擦块与靶筒的内壁接触，避免对其造成损伤。
本实用新型一种防刮擦磁控溅射靶芯在权利要求书中公布了：1.一种防刮擦磁控溅射靶芯，安装于柱形靶筒100内部，其特征在于，包括磁棒组件1，在所述磁棒组件1两侧固定安装有水室2，通过所述水室2中循环流动的冷却介质对所述磁棒组件1进行冷却； 所述磁棒组件1外侧还设有多个防刮擦块3，所述磁棒组件1的两侧均布设有所述防刮擦块3，且所述防刮擦块3凸出所述水室2的外缘； 所述防刮擦块3为柔性材质，使得所述磁棒组件1沿中轴线安装于所述靶筒100内部时，所述防刮擦块3与所述靶筒100的内壁接触，避免对其造成损伤。
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